[發明專利]測量設備及方法

無效

• 申請號: 200810081894.6
• 申請日: 2008-05-20
• 公開（公告）號: CN101586944A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 呂建德;張家齊;鄭益騏;劉昆華;蘇振平
• 申請（專利權）人: 華泰電子股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01B11/24;G01B15/02;G01B15/04;G01B17/02;G01B17/06
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司
• 代理人: 周建秋;王鳳桐

1、一種測量治具，該測量治具包括至少一個承載單元，以供待測工件容置，該承載單元包括：

承載室，該承載室用以承載所述待測工件，并具有承座面，該承座面用于接觸所述待測工件的底面；以及

基準面，該基準面由所述承載室向外延伸，該基準面及所述待測工件的頂面朝向相同的方向，該基準面與所述承座面間具有一預定高度差，且所述待測工件的頂面與該基準面間形成有一可測量高度差，由此計算所述待測工件的厚度為該預定高度差及該可測量高度差之和。

2、根據權利要求1所述的測量治具，其中所述承載室還具有兩個側邊，該兩個側邊與所述承座面連接，所述承載單元還包括兩個基準腳，一個基準腳固定于所述承載室的所述兩個側邊中的一個，另一個基準腳固定于所述兩個側邊中的另一個，每一基準腳具有頂面，且所述基準面為這些基準腳的頂面上任三點所定義。

3、根據權利要求1所述的測量治具，其中所述預定高度差為零。

4、根據權利要求1所述的測量治具，其中所述基準面覆蓋所述待測工件的重心。

5、根據權利要求1所述的測量治具，其中所述承載室還具有兩個側邊，該兩個側邊與所述承座面連接，所述承載單元還包括六個基準腳，三個基準腳固定于所述兩個側邊中的一個，另三個基準腳固定于所述兩個側邊中的另一個，所述基準面為這些基準腳的頂面上任六點所定義，所述基準面覆蓋所述待測工件的重心。

6、根據權利要求5所述的測量治具，其中位于同一個側邊上的這些基準腳彼此之間的間距須大于1mm。

7、根據權利要求2所述的測量治具，其中所述承載室與所述基準腳一體成型制造。

8、根據權利要求1所述的測量治具，其中該測量治具包括多個承載單元，并以陣列式排列。

9、一種測量設備，該測量設備用以測量至少一個待測工件的厚度，該測量設備包括：

測量治具，該測量治具包括至少一個承載單元，以供待測工件容置，該承載單元包括：

承載室，該承載室用以承載所述待測工件，并具有承座面，該承座面用于接觸所述待測工件的底面；以及

基準面，該基準面由所述承載室向外延伸，該基準面及所述待測工件的頂面朝向相同的方向，該基準面與所述承座面間具有一預定高度差，且所述待測工件的頂面與該基準面間形成有一可測量高度差；以及

掃描裝置，該掃描裝置用以掃描所述待測工件的頂面及所述基準面，以獲得所述可測量高度差，由此計算所述待測工件的厚度為所述預定高度差及所述測量高度差之和。

10、根據權利要求9所述的測量設備，其中所述掃描裝置包括發射器及接收器，所述發射器所發射的訊號選自激光束、光學光束、紅外線及超音波所構成的群組。

11、根據權利要求9所述的測量設備，其中所述承載室還具有兩個側邊，所述兩個側邊與所述承座面連接，所述承載單元還包括二個基準腳，一個基準腳固定于所述承載室的兩個側邊中的一個，另一個基準腳固定于所述兩個側邊中的另一個，每一個基準腳具有頂面，且所述基準面為這些基準腳的頂面上任三點所定義。

12、根據權利要求11所述的測量設備，其中所述測量治具的承載單元的基準腳為L型剖面，且該L型剖面的第一及第二內表面之間的夾角為90度加上一大于20度的導角。

13、根據權利要求9所述的測量設備，其中所述預定高度差為零。

14、根據權利要求9所述的測量設備，其中所述基準面覆蓋所述待測工件的重心。

15、根據權利要求9所述的測量設備，其中所述承載室還具有兩個側邊，該兩個側邊與所述承座面連接，所述承載單元還包括六個基準腳，三個基準腳固定于所述兩個側邊中的一個，另三個基準腳固定于所述兩個側邊中的另一個，所述基準面為這些基準腳的頂面上任六點所定義，所述基準面覆蓋所述待測工件的重心。

16、根據權利要求11所述的測量設備，其中這些基準腳的高度至少大于1mm。

17、根據權利要求11所述的測量設備，其中所述承載室與所述基準腳一體成型制造。