[發(fā)明專利]探針單元及檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810081853.7
• 申請日: 2008-05-08
• 公開（公告）號: CN101303370A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發(fā)明（設計）人: 久我智昭
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于檢查液晶面板、集成電路等平板狀的被檢查體的探針單元及檢查裝置。

背景技術

液晶面板等平板狀的被檢查體通常使用探針單元進行檢查。作為這種探針單元，有排列多片薄板狀的刀片型探針而構成的類型，記載了這種例子的有專利文獻1。以下概略性地說明該專利文獻1的發(fā)明。

如圖2及圖3所示，探針組合體1包括：塊狀體2、并列地配置在塊狀體2的下側的帶狀的多個探針3、穿過探針3的一對細長的導桿4、收容探針3的一部分的一對槽桿5、使針尖的位置穩(wěn)定在探針3的后端側的較長的引導構件6、使導桿4支承在塊狀體2上的一對側罩7。

各探針3具有帶狀的中央?yún)^(qū)域3A、從該中央?yún)^(qū)域的前端和后端向前方和后方伸出的一對針尖區(qū)域3B和3C。中央?yún)^(qū)域3A在各端部具有供導桿4穿過的引導孔3D。將導桿4穿入到引導孔3D中，并使各針尖區(qū)域3B及3C與槽桿5相嵌合，從而將各探針3配置在塊狀體2的下側。

由此，針尖區(qū)域3B的探針與在液晶面板上設置成一橫列的電極進行接觸而電連接，從而進行控制信號的發(fā)送等。

但是，近年來出現(xiàn)了這樣的情況，即在液晶面板等中，由于集成化不斷發(fā)展，而以極其狹窄的間隔排列電路的電極。與此相應的探針單元有一種將將觸頭位置不同的刀片型探針組合配置在一起而構成交錯狀探針的探針單元。

專利文獻1：日本特開平10-132853號公報

但是，在配置上述觸頭位置不同的刀片型探針而構成交錯狀探針的探針單元中，準確地配置、支承多個上述觸頭位置不同的多種刀片型探針是不容易的，存在產生刀片型探針發(fā)生歪扭、偏斜、破損等問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明是為了解決上述問題而作出的，其目的在于，提供一種可以抑制刀片型探針發(fā)生歪扭、偏斜、破損等，而準確地支承各觸頭使它們與各電極可靠地接觸的探針單元及檢查裝置。

為了解決上述課題，本發(fā)明的探針單元具有支承刀片型探針使探針與被檢查體的電極電接觸的探針組合體，其特征在于，上述刀片型探針具有主體板部、前端側臂部及FPC側臂部；上述主體板部被準確定位和支承；上述前端側臂部被支承在該主體板部的前端側，用于支承觸頭；上述FPC側臂部被支承在上述主體板部的FPC側，用于支承觸頭；并且，該刀片型探針由第1列用刀片型探針和其他列用刀片型探針構成；上述第1列用刀片型探針將上述前端側臂部的觸頭設置在上述被檢體的與多列呈交錯狀排列的電極中的第1列電極對準的位置，且設于上述前端側臂部的前端位置；上述其他列用刀片型探針將上述前端側臂部的觸頭設置在與多列呈交錯狀排列的電極中的第2列之后的電極對準的位置上，并且，在上述觸頭的前端側設有保持板部，以使其他列用刀片型探針的前端側臂部達到與上述第1列用刀片型探針的前端側臂部大致相同的長度。

根據(jù)上述結構，上述第1列用刀片型探針的上述前端側臂部的觸頭與上述被檢查體的多列呈交錯狀的電極中的第1列電極相接觸，上述其他列用刀片型探針的上述前端側臂部的觸頭與上述被檢查體的多列呈交錯狀的電極中的第2列之后的電極相接觸，并發(fā)送控制信號。此時，利用上述其他列用刀片型探針的保持板部，使該其他列用刀片型探針的前端側臂部與上述第1列用刀片型探針的前端側臂部達到大致相同的長度。

優(yōu)選的是，利用上述其他列用刀片型探針的保持板部來增加其他列用刀片型探針的前端側臂部與上述槽的保持面積。

該檢查裝置具有放置部和測定部；上述放置部用于從外部搬入被檢查體，并在檢查結束后將該被檢查體搬往外部；上述測定部支承從該放置部上接過來的被檢查體并進行檢測；上述測定部的探針單元優(yōu)選使用上述探針單元。

如上所述，利用上述其他列用刀片型探針的保持板部使該其他列用刀片型探針的前端側臂部與上述第1列用刀片型探針的前端側臂部達到大致相同的長度，因此，可抑制各刀片型探針發(fā)生歪扭、偏斜、破損等，而準確地支承各觸頭使它們可靠地與各電極相接觸。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的實施方式的探針單元的刀片型探針的側視圖。

圖2是表示以往的檢查裝置的探針組合體的立體圖。

圖3是表示以往的檢查裝置的探針組合體的側視剖視圖。

圖4是表示本發(fā)明的實施方式的探針單元的立體圖。

圖5是表示本發(fā)明的實施方式的探針單元的局部剖切的側視圖。

圖6是表示本發(fā)明的實施方式的探針單元的探針組合體的分解立體圖。

圖7是從背面表示本發(fā)明的實施方式的探針單元的探針組合體的立體圖。

圖8是表示本發(fā)明的實施方式的探針單元的探針組合體的前端側臂部的俯視圖。