[發明專利]探針單元及檢查裝置有效
| 申請號： | 200810081853.7 | 申請日： | 2008-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN101303370A | 公開（公告）日： | 2008-11-12 |
| 發明（設計）人： | 久我智昭 | 申請（專利權）人： | 日本麥可羅尼克斯股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 單元 檢查 裝置 | ||
1.?一種探針單元，其具有支承刀片型探針使其與被檢查體的電極電接觸的探針組合體，其特征在于，
上述刀片型探針具有主體板部、前端側臂部及FPC側臂部；上述主體板部被準確定位和支承；上述前端側臂部被支承在該主體板部的前端側，用于支承觸頭；上述FPC側臂部被支承在上述主體板部的FPC側，用于支承觸頭；并且，該刀片型探針由第1列用刀片型探針和其他列用刀片型探針構成；
上述第1列用刀片型探針將上述前端側臂部的觸頭設置在與多列呈交錯狀排列的電極中的第1列電極對準的位置，且設于上述前端側臂部的前端位置；
上述其他列用刀片型探針將上述前端側臂部的觸頭設置在與多列呈交錯狀排列的電極中的第2列之后的電極對準的位置上，并且，在上述觸頭的前端側設有保持板部，以使其他列用刀片型探針的前端側臂部達到與上述第1列用刀片型探針的前端側臂部大致相同的長度。
2.?根據權利要求1所述的探針單元，其特征在于，
該探針單元具有槽桿，該槽桿設有多條供刀片型探針的前端側臂部及FPC側臂部插入的槽；
上述其他列用刀片型探針的保持板部增加了其他列用刀片型探針的前端側臂部與上述槽之間的保持面積。
3.?一種檢查裝置，其用于檢查被檢查體，其特征在于，
該檢查裝置具有放置部和測定部；上述放置部用于從外部搬入被檢查體，并在檢查結束后將該被檢查體搬往外部；上述測定部支承從該放置部上接過來的被檢查體并進行檢測；
上述測定部具有探針單元，該探針單元具有支承刀片型探針并使其與被檢查體的電極電接觸的探針組合體；
上述刀片型探針具有主體板部、前端側臂部及FPC側臂部；上述主體板部被準確定位和支承；上述前端側臂部被支承在該主體板部的前端側，用于支承觸頭；上述FPC側臂部被支承在上述主體板部的FPC側，用于支承觸頭；并且，該刀片型探針由第1列用刀片型探針和其他列用刀片型探針構成；
上述第1列用刀片型探針將上述前端側臂部的觸頭設置在與多列呈交錯狀排列的電極中的第1列電極對準的位置，且設于上述前端側臂部的前端位置；
上述其他列用刀片型探針將上述前端側臂部的觸頭設置在與多列呈交錯狀排列的電極中的第2列之后的電極對準的位置上，并且，在上述觸頭的前端側設有保持板部，以使其他列用刀片型探針的前端側臂部達到與上述第1列用刀片型探針的前端側臂部大致相同的長度。
4.?根據權利要求3所述的檢查裝置，其特征在于，
該檢查裝置具有槽桿，該槽桿設有多條供刀片型探針的前端側臂部及FPC側臂部插入的槽；
上述其他列用刀片型探針的保持板部增加了其他列用刀片型探針的前端側臂部與上述槽之間的保持面積。
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