[發(fā)明專(zhuān)利]焊球容置結(jié)構(gòu)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810080844.6 | 申請(qǐng)日: | 2008-02-21 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN101515556A | 公開(kāi)(公告)日: | 2009-08-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王維賓;林恩立;李德浩;鄭坤一;黃熴銘 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 矽品精密工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/60 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/60;B23K3/06;B23K101/40;H05K3/34 |
| 代理公司: | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 戈 泊 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 焊球容置 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種焊球植球設(shè)備,特別是涉及一種應(yīng)用于擷取或置放焊球的焊球容置結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
球柵陣列(Ball?Grid?Array,BGA)為一種先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片封裝技術(shù),其特點(diǎn)在于采用一基板來(lái)安置半導(dǎo)體芯片,并于該基板背面植置多個(gè)成柵狀陣列排列的焊球(Solder?Ball),使相同單位面積的半導(dǎo)體芯片承載件上可以容納更多輸入/輸出連接端(I/O?Connection)以符合高度集積化(Integration)的半導(dǎo)體芯片所需,以通過(guò)此些焊球?qū)⒄麄€(gè)封裝單元焊結(jié)及電性連接至外部的印刷電路板。
如圖1a所示,為美國(guó)專(zhuān)利字號(hào)6,533,159B1中所公開(kāi)的一種用于球柵陣列(Ball?Grid?Array)封裝的焊球植球設(shè)備,包括:焊球擷取裝置10、焊球儲(chǔ)具11以及氣壓裝置12,該焊球擷取裝置10具有一本體101、一容室102,一體成型于本體101一端的一模板103、于該模板103的外表面開(kāi)設(shè)多個(gè)圖形化排列的大孔104、以及連通該大孔104且垂直貫穿模板103的小孔105,該焊球儲(chǔ)具11是用以?xún)?chǔ)存焊球111;該氣壓裝置12具有導(dǎo)管120、設(shè)于導(dǎo)管120上的真空泵121及空氣壓縮機(jī)122,該真空泵121具有一真空閥123,該空氣壓縮機(jī)122具有一氣壓閥124,該導(dǎo)管120連接該本體101另一端以連通容室102,并通過(guò)真空閥123及氣壓閥124控制容室102的壓力變化。
當(dāng)焊球擷取裝置10置入焊球儲(chǔ)具11后,通過(guò)氣壓裝置12產(chǎn)生真空吸力并通過(guò)小孔105將焊球111吸附于大孔104,再將焊球擷取裝置10移動(dòng)至基板(圖未示)后,通過(guò)氣壓裝置12產(chǎn)生空氣壓力將焊球111由大孔104釋放,以置放焊球111至基板,再進(jìn)行回焊作業(yè)以使焊球111固著于基板。
請(qǐng)一并參閱圖1b,該焊球擷取裝置10的大孔104深度對(duì)應(yīng)該焊球111的直徑,以決定該焊球擷取裝置10的擷取能力,但是,該焊球擷取裝置10的鉆孔加工為高精度的鉆孔加工,其加工成本昂貴,且于加工過(guò)程中,該大孔104的深度控制不易,若發(fā)生鉆頭磨耗或斷針的情形容易導(dǎo)致該大孔104的深度無(wú)法對(duì)應(yīng)該焊球111的直徑,進(jìn)而使各該大孔104的深度不一致,造成深度過(guò)淺的大孔104無(wú)法有效吸取焊球111,或發(fā)生焊球111掉落問(wèn)題,導(dǎo)致后續(xù)作業(yè)無(wú)法順利進(jìn)行;再者,若于模板103上鉆設(shè)大孔104時(shí)發(fā)生失誤,因該本體101與該模板103為一體成型,將使該焊球擷取裝置10將整組報(bào)銷(xiāo),導(dǎo)致成本大幅增加。另外,針對(duì)該一體加工成型的焊球擷取裝置10如有損害而需要維修或修補(bǔ)時(shí),其維修成本亦非常高,而不符經(jīng)濟(jì)效益。
因此,如何改善以上種種缺點(diǎn),為當(dāng)今亟待思考的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種提高效能的焊球容置結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種降低制造成本的焊球容置結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種加工方式簡(jiǎn)便,且可快速加工完成的焊球容置結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種低維修成本的焊球容置結(jié)構(gòu)。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明采用了一種焊球容置結(jié)構(gòu),應(yīng)用于植球設(shè)備中,其包括:中空本體、第一板體、第二板體以及第三板體,該中空本體具有一開(kāi)口,該第一板體蓋設(shè)于該開(kāi)口上且具有多個(gè)連通該開(kāi)口的氣流穿孔,該氣流穿孔的孔徑小于該焊球的直徑,該第二板體連接該第一板體且具有對(duì)應(yīng)該氣流穿孔的放置穿孔,該放置穿孔的孔徑大于該焊球的直徑,該第三板體連接該第二板體且具有對(duì)應(yīng)該放置穿孔的導(dǎo)引穿孔,該導(dǎo)引穿孔的孔徑大于焊球的直徑。
依上述結(jié)構(gòu),該中空本體復(fù)具有一氣孔以連接一氣壓裝置,該第一板體、第二板體及第三板體間可以螺接方式結(jié)合。
依上述結(jié)構(gòu),該氣流穿孔、該放置穿孔及該導(dǎo)引穿孔可以蝕刻或鉆孔方式形成,該導(dǎo)引穿孔呈導(dǎo)角型式,具有第一孔徑及從該第一孔徑漸縮形成的第二孔徑,且該第二孔徑等于該放置穿孔的孔徑。
依上述結(jié)構(gòu),該焊球容置結(jié)構(gòu)可應(yīng)用于植球設(shè)備的焊球擷具或焊球置具。
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H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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