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[發(fā)明專利]一種減小提拉法生長晶體內部熱應力的后加熱器裝置無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200810072460.X 申請日: 2008-12-25
公開(公告)號: CN101760774A 公開(公告)日: 2010-06-30
發(fā)明(設計)人: 吳少凡;莊松巖 申請(專利權)人: 福建福晶科技股份有限公司
主分類號: C30B15/14 分類號: C30B15/14;C30B33/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 350002 福建省*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 減小 提拉法 生長 晶體 內部 應力 加熱器 裝置
【權利要求書】:

1.一種減小提拉法生長晶體內部熱應力的后加熱器裝置,其特征在于:該后加熱器裝置是采用氧化鋯纖維加工成的定型上保溫罩,上保溫罩有內外2層氧化鋯纖維筒組成,兩層之間埋入熱鉻鋁高溫電阻加熱絲,通過調節(jié)加熱絲的加熱功率,提供一個附加熱源,在上保溫罩內部形成一個溫度梯度相對小的退火空間,使得晶體頭部和尾部的溫度梯度較小,從而起到了降低晶體內部熱應力的效果。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種減小提拉法生長晶體內部熱應力的后加熱器裝置,其特征在于:保溫罩材料可以為氧化鋁、氧化釔。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種減小提拉法生長晶體內部熱應力的后加熱器裝置,其特征在于:該裝置可以用于激光晶體摻釹釩酸釔、釩酸釓、釔鋁石榴石、鋁酸釔晶體生長,以及閃爍晶體摻鈰硅酸釔镥晶體生長。

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