[發(fā)明專利]真空器件的封接裝置以及封接方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810067427.8
• 申請(qǐng)日: 2008-05-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101587807A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柳鵬;陳丕瑾;杜秉初;郭彩林;劉亮;范守善
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): H01J9/26
• 分類號(hào): H01J9/26
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空器件的封接裝置以及采用該封接裝置封接真空器件的方法。

背景技術(shù)

真空技術(shù)在真空電子器件的制造中起著重要的作用，真空問(wèn)題越來(lái)越引起人們的關(guān)注(請(qǐng)參見(jiàn)，Vacuum?problems?of?miniaturization?of?vacuumelectronic?component：a?new?generation?of?compact?photomultipliers，VacuumV64，P15-31(2002))。真空器件的封接質(zhì)量對(duì)器件的使用壽命具有重要的影響。

請(qǐng)參閱圖1，現(xiàn)有技術(shù)提供了一種真空器件的封接裝置20以及采用該真空器件的封接裝置20對(duì)真空器件進(jìn)行封接的方法。該真空器件的封接裝置20包括一真空室202；一前容置室204與后容置室206分別通過(guò)第一閘門208與第二閘門210與該真空室202兩端相連通；一抽真空系統(tǒng)214分別與該前容置室204與后容置室206以及真空室202相連通；至少一運(yùn)輸裝置212設(shè)置于該真空室202內(nèi)，該運(yùn)輸裝置212可以在前容置室204與后容置室206以及真空室202之間運(yùn)動(dòng)；一聚光封口裝置216設(shè)置于該真空室202外，該聚光封口裝置216可以通過(guò)透光孔218對(duì)真空室202內(nèi)的預(yù)封接器件220的排氣管222進(jìn)行加熱封接。

采用上述真空器件的封接裝置20對(duì)預(yù)封接器件220進(jìn)行封接的方法具體包括以下步驟：提供至少一預(yù)封接器件220；在預(yù)封接器件220上預(yù)先設(shè)置一排氣管222，并將該排氣管222與預(yù)封接器件220封接；將該至少一預(yù)封接器件220置于前容置室204內(nèi)的運(yùn)輸裝置212上，對(duì)前容置室204抽真空，使前容置室204與真空室202的真空度相同；打開(kāi)第一閘門208使載有預(yù)封接器件220的運(yùn)輸裝置212進(jìn)入真空室202后關(guān)閉第一閘門208；對(duì)真空室202抽真空一段時(shí)間后，使預(yù)封接器件220逐個(gè)從聚光封口裝置216下方通過(guò)，通過(guò)聚光封口裝置216照射排氣管222，對(duì)預(yù)封接器件220進(jìn)行逐個(gè)封接；對(duì)后容置室206抽真空，使后容置室206與真空室202的真空度相同；打開(kāi)第二閘門210，使封接后的預(yù)封接器件220進(jìn)入后容置室206后關(guān)閉第二閘門210；將封接后的預(yù)封接器件220從后容置室206取出，得到一封接好的真空器件。重復(fù)上述步驟，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)預(yù)封接器件220的連續(xù)封接。

然而，采用上述裝置及方法對(duì)真空器件進(jìn)行封接具有以下缺點(diǎn)：第一，需要在預(yù)封接器件220上預(yù)先設(shè)置一排氣管222，并將該排氣管222與預(yù)封接器件220封接，所以工藝較為復(fù)雜，成本也較高。第二，采用排氣管222排氣封接，在封裝好的真空器件上就會(huì)留下一突起的尾巴狀排氣管，這對(duì)真空器件的安全性和穩(wěn)定性帶來(lái)威脅。第三，排氣管222在加熱時(shí)放出的氣體會(huì)進(jìn)入預(yù)封接器件220內(nèi)，從而影響真空器件的真空度。另外，上述真空器件的封接裝置需要專門的聚光封口裝置，提高了制備成本。

有鑒于此，確有必要提供一種真空器件的封接裝置以及封接方法，該封接裝置無(wú)需專門的聚光封口裝置，且該封接方法可以降低制備成本，獲得高真空度，且沒(méi)有安全隱患的真空器件。

發(fā)明內(nèi)容

一種真空器件的封接裝置，其包括：一真空室；一前容置室與一后容置室，且該前容置室與后容置室分別通過(guò)一第一閘門與一第二閘門與該真空室兩端相連通；一抽真空系統(tǒng)分別與該前容置室、后容置室以及真空室相連通；至少一運(yùn)輸裝置，可于前容置室、真空室以及后容置室之間運(yùn)動(dòng)；其中，該真空器件的封接裝置進(jìn)一步包括：一低熔點(diǎn)玻璃粉熔爐設(shè)置于所述真空室上方，該低熔點(diǎn)玻璃粉熔爐通過(guò)一輸入管道與真空室相連通，所述低熔點(diǎn)玻璃粉熔爐上設(shè)有一控制部件；一第一加熱裝置設(shè)置于輸入管道與第二閘門之間的真空室內(nèi)壁上。

一種真空器件的封接方法，其包括以下步驟：將一定量的低熔點(diǎn)玻璃粉料置入所述低熔點(diǎn)玻璃粉熔爐內(nèi)，并對(duì)低熔點(diǎn)玻璃粉熔爐進(jìn)行抽真空密封，然后將該低熔點(diǎn)玻璃粉料加熱至熔融態(tài)；提供至少一預(yù)封接器件，所述預(yù)封接器件包括一殼體以及一排氣孔；將該至少一預(yù)封接器件置于前容置室內(nèi)的運(yùn)輸裝置上，并通過(guò)該抽真空系統(tǒng)對(duì)前容置室進(jìn)行抽真空；使該至少一預(yù)封接器件進(jìn)入真空室，通過(guò)輸入管道的下方，在每個(gè)預(yù)封接器件的排氣孔上設(shè)置一定量的熔融態(tài)的低熔點(diǎn)玻璃粉料，從而對(duì)預(yù)封接器件的排氣孔進(jìn)行逐個(gè)封接，而后凝固熔融態(tài)的低熔點(diǎn)玻璃粉料；對(duì)后容置室進(jìn)行抽真空，并使該預(yù)封接器件進(jìn)入后容置室，且通過(guò)后容置室將該預(yù)封接器件取出。