[發(fā)明專利]觸摸屏電極制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810066633.7
• 申請(qǐng)日: 2008-04-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101261560A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張樹(shù)峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張樹(shù)峰
• 主分類(lèi)號(hào): G06F3/044
• 分類(lèi)號(hào): G06F3/044;G06F3/045
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種觸膜屏電極制造方法，特別是電阻式和電容式觸膜屏電極的制造方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的觸膜屏電極一般采用絲網(wǎng)印刷的方式進(jìn)行，通過(guò)有電極圖形的絲網(wǎng)將導(dǎo)電油墨漏印在透明導(dǎo)電片或板上，然后經(jīng)過(guò)烘干使導(dǎo)電油墨牢固地附著在導(dǎo)電層上，由于導(dǎo)電油墨目是由導(dǎo)電粉和工程粘合劑混合而成，組成工程粘合劑的主要成分是無(wú)溶劑的液態(tài)反應(yīng)型粘合劑，在烘干過(guò)程中有機(jī)體發(fā)生聚合反應(yīng)，將導(dǎo)電粉牢固地固定并粘附在導(dǎo)電層上，由于粘合劑是不導(dǎo)電體，雖然導(dǎo)電油墨的生產(chǎn)廠商聲稱導(dǎo)電油墨的體電阻率可達(dá)到10^-4Ωmm²/cm，但實(shí)際電阻率大約在10^-3Ωmm²/cm數(shù)量級(jí)，所以在5英寸以上電阻式屏觸膜屏上，印刷電極的電壓降已嚴(yán)重影響電性能，不得不采用轉(zhuǎn)接點(diǎn)制程(ACF制程)，通過(guò)兩層電極的并聯(lián)作用降低電極內(nèi)壓降；影響電阻式和電容式觸膜屏電性能的因素除了電極體電阻外，還有印刷電極和電阻層之間的接觸電阻的均勻性和穩(wěn)定性，烘干條件和印刷后油墨對(duì)電阻層的濕潤(rùn)不同，造成電極和電阻層的接觸電阻變化很大，特別是采用遠(yuǎn)紅外隧道爐烘干時(shí)，變化更為明顯。為改變這種狀況，多數(shù)廠家采用烘箱進(jìn)行干燥，但情況比遠(yuǎn)紅外隧道爐烘干略有好轉(zhuǎn)，接觸電阻的不均勻性和不穩(wěn)定性仍存在，這種不均勻性和不穩(wěn)定性不僅對(duì)四線電阻式觸摸屏造成線性度超標(biāo)，而且對(duì)依靠精密電阻網(wǎng)絡(luò)的五線式電阻觸摸屏和電流注入式電容觸摸屏來(lái)說(shuō)其對(duì)電性能的影響更大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種體電阻和接觸電阻均較低的觸膜屏電極制造方法。

本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下措施來(lái)達(dá)到：

一種觸膜屏電極制造方法，步驟如下：

在透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積一層金屬膜；

在金屬膜上形成有電極圖形的抗蝕層；

用堿性金屬蝕刻液蝕刻金屬膜，形成電極圖形；

把電阻層的非功能區(qū)與電極和功能區(qū)蝕刻隔離。

本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下進(jìn)一步的措施來(lái)達(dá)到：

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是銅；

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是黃銅；

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是青銅；

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是鋁；

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是鋁合金；

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是銀；

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜是鋅。

電阻層的非功能區(qū)與電極和功能區(qū)蝕刻隔離的方法是用小于1065nm的短波長(zhǎng)激光蝕刻出隔離線；

電阻層的非功能區(qū)與電極和功能區(qū)蝕刻隔離的方法是：

A.在去除電極圖形抗蝕膜的電阻層上形成非功能區(qū)圖形抗蝕層；

B.用酸性蝕刻液去除非功能區(qū)。

透明導(dǎo)電片或板的電阻層上物理氣相沉積的金屬膜的方法可以采用真空蒸鍍、真空濺射鍍和真空離子鍍，為了兼顧到以高分子塑料為基材的透明導(dǎo)電片或板，最好采用低溫型的物理氣相沉積方式，例如真空蒸發(fā)鍍中的激光蒸發(fā)鍍，真空濺射鍍膜中的磁控濺射鍍膜。

用這種方法制造的觸摸屏電極，金屬層在物理氣相狀態(tài)下形成，與透明電阻層形成均勻緊密的結(jié)合，使其接觸極其均勻，接觸電阻極其微小，另外形成電極的金屬電阻率都在10^-4Ωmm²/cm數(shù)量級(jí)，對(duì)于采用2毫米寬2微米厚銅電極的15英寸觸摸屏來(lái)說(shuō)，其電極內(nèi)電阻約1.35Ω，變化僅占極間電阻的0.45％，在考慮透明導(dǎo)電材料電阻線性度＜1.5％，情況下，可以直接采用ACP制程制作15英寸以下觸摸屏，若增加金屬膜厚度，還可以用ACP制程制作更大尺寸觸摸屏。另外，由于電極厚度一般僅幾個(gè)微米，對(duì)電流注入式電容觸摸屏而言，上面覆蓋介質(zhì)層可以和功能區(qū)電阻層緊密接觸，對(duì)提高觸控靈敏度有很大提高。

附圖說(shuō)明

圖1是在透明導(dǎo)電片或板上制作出的電極示意圖。

圖2是在透明導(dǎo)電片或板上制作的電極抗蝕層圖形。

圖3是在透明導(dǎo)電片或板上制作的非功能區(qū)抗蝕層圖形。

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述：