[發明專利]一種集簇設備控制系統和工藝控制系統之間通信的方法

有效

• 申請號: 200810056107.2
• 申請日: 2008-01-11
• 公開（公告）號: CN101482746A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 陸濤
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司
• 代理人: 王 琦;王誠華

技術領域

本發明涉及半導體加工技術領域，特別是涉及一種集簇設備控制系統和 工藝控制系統之間通信的方法。

背景技術

在半導體加工工藝操作過程中，通常利用工藝控制系統對工藝操作進行 控制，從而自動、準確地完成工藝任務。這里所述的工藝控制系統就是安裝 在如計算機等設備中的軟件系統，可以按照對半導體加工工藝操作過程的不 同分為不同的系統。比如：工藝模塊控制(PMC)系統、傳輸模塊控制(TMC， Transport?Module?Controller)系統等等。

其中，PMC系統主要用于對半導體加工過程的控制，比如對加工深度 的控制；而TMC系統則主要用于對半導體加工件傳輸過程的控制，比如： 對實施取片、放片等操作的機械手的控制、對反應室某個閥門打開或關閉的 控制等。這里所述的半導體加工件通常包括晶片以及與其具有相同加工原理 的其他加工件，下文所述半導體加工件的含義與此相同。

實際應用中，為了更好地對整個工藝操作過程進行控制，還需要利用集 簇設備控制(CTC，Cluster?Tool?Controller)系統對工藝控制系統進行控制。 這里所述的CTC系統也是安裝在如計算機等設備中的軟件系統。具體地說， CTC可以事先設置一系列的算法或命令，利用設置的算法或命令控制工藝控 制系統實施自身的某個功能模塊的功能，從而達到實施整個工藝操作過程的 目的。

由于CTC系統需要對工藝控制系統進行控制，就需要與其進行通信。 現有技術中，CTC系統與工藝控制系統之間通常采用Corba體系進行通信。 Corba體系是采用遠程引用的方式來調用工藝控制系統中功能模塊的功能， 這就需要CTC系統啟動后對工藝控制系統中所有功能模塊進行遠程引用， 相當于將工藝控制系統中各個功能模塊備份在自身中。此后，當CTC需要 實施工藝控制系統某個功能模塊時，就可以直接調用事先引用的功能模塊， 從而達到控制工藝控制系統的目的。

由于CTC系統是采用Corba體系與工藝控制系統進行通信，如果工藝 控制系統中的功能模塊非常多，CTC系統在引用工藝控制系統中所有功能模 塊后，不但會占用CTC系統大量的資源，還會使CTC系統的運行速度和性 能下降。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的在于提供一種集簇設備控制(CTC)系統 和工藝控制系統之間通信的方法，不必占用CTC系統大量的資源，避免使 CTC系統的運行速度和性能下降。

為了達到上述目的，本發明提出的技術方案為：

一種集簇設備控制系統和工藝控制系統之間通信的方法，該方法包括以下 步驟：

a、集簇設備控制CTC系統向工藝控制系統發送攜帶有接口信息的操作命 令，所述接口信息為工藝控制系統事先設置的針對自身功能模塊的信息；

b、工藝控制系統從操作命令中獲得接口信息，并根據獲得的接口信息對相 應功能模塊進行操作。

上述方案中，所述接口信息至少包括功能模塊ID號、功能標識信息；所述 功能標識信息為功能模塊ID號所對應功能模塊可執行功能的標識信息；所述操 作命令為指示功能模塊執行功能的命令；

所述步驟b包括：工藝控制系統根據操作命令確定當前需要功能模塊執行 自身功能，并根據功能模塊ID號和功能標識信息調用相應的功能模塊，被調用 的功能模塊按照所述功能標識信息執行自身的功能。

上述方案中，所述接口信息至少包括功能模塊ID號；所述操作命令為讀取 功能模塊最近所執行功能的標識信息的命令；

所述步驟b包括：所述工藝控制系統根據操作命令確定當前需要讀取功能 模塊最近所執行功能的標識信息，根據功能模塊ID號查詢保存的對應功能模塊 最近所執行功能的標識信息，并將查詢到的功能標識信息返回給CTC系統。

上述方案中，所述操作命令為基于Socket連接的操作命令，所述步驟a之 前，該方法進一步包括：CTC系統和工藝控制系統之間建立Socket連接。

上述方案中，當工藝控制系統的功能模塊檢測出故障時，該方法進一步包 括：

將事先為故障設置的故障標識信息發送給CTC系統，CTC系統根據故障標 識信息調用故障處理功能進行故障處理，所述故障處理功能為CTC系統事先通 過遠程引用方式從工藝控制系統中所獲得的。