[發明專利]一種集簇設備控制系統和工藝控制系統之間通信的方法

有效

• 申請號: 200810056107.2
• 申請日: 2008-01-11
• 公開（公告）號: CN101482746A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 陸濤
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司
• 代理人: 王 琦;王誠華

1.?一種集簇設備控制系統和工藝控制系統之間通信的方法，其特征在于， 該方法包括以下步驟：

a、集簇設備控制CTC系統向工藝控制系統發送攜帶有接口信息的操作命 令，所述接口信息為工藝控制系統事先設置的針對自身功能模塊的信息；

b、工藝控制系統從操作命令中獲得接口信息，并根據獲得的接口信息對相 應功能模塊進行操作。

2.?根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述接口信息至少包括功能 模塊ID號、功能標識信息；所述功能標識信息為功能模塊ID號所對應功能模 塊可執行功能的標識信息；所述操作命令為指示功能模塊執行功能的命令；

所述步驟b包括：工藝控制系統根據操作命令確定當前需要功能模塊執行 自身功能，并根據功能模塊ID號和功能標識信息調用相應的功能模塊，被調用 的功能模塊按照所述功能標識信息執行自身的功能。

3.?根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述接口信息至少包括功能 模塊ID號；所述操作命令為讀取功能模塊最近所執行功能的標識信息的命令；

所述步驟b包括：所述工藝控制系統根據操作命令確定當前需要讀取功能 模塊最近所執行功能的標識信息，根據功能模塊ID號查詢保存的對應功能模塊 最近所執行功能的標識信息，并將查詢到的功能標識信息返回給CTC系統。

4.?根據權利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，所述操作命令為 基于Socket連接的操作命令，所述步驟a之前，該方法進一步包括：CTC系統 和工藝控制系統之間建立Socket連接。

5.?根據權利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，當工藝控制系統 的功能模塊檢測出故障時，該方法進一步包括：

將事先為故障設置的故障標識信息發送給CTC系統，CTC系統根據故障標 識信息調用故障處理功能進行故障處理，所述故障處理功能為CTC系統事先通 過遠程引用方式從工藝控制系統中所獲得的。

6.?根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述遠程引用為利用遠程 remoting技術實現的遠程引用。