[發明專利]制備高純三氟化硼氣體的工藝方法及設備

有效

• 申請號: 200810052091.8
• 申請日: 2008-01-17
• 公開（公告）號: CN101214970A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 陳光華;倪志強
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院華核新技術開發公司
• 主分類號: C01B35/06
• 分類號: C01B35/06
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司
• 代理人: 胡恩河

1.一種制備高純三氟化硼氣體的工藝方法，其特征在于：在凈化器(4)中去除氟氣中雜質，凈化器(4)的溫度為-140～-195℃，壓力為-0.09～0.2Mpa，在凈化器(4)內進行低溫冷凍液化、收集氟氣后，對凈化器(4)升溫，將解凍的氟氣通過管道(2)進入氟氣儲罐(5)，氟氣儲罐(5)的壓力為-0.02～0.2Mpa，氟氣與預熱到150℃以上的單質硼在反應器(6)內進行合成化學反應，生成含有輕雜質的三氟化硼氣體，然后含有輕雜質的三氟化硼氣體通過除塵器(7)去除固體物質；再進入精餾釜(8)進行液化、收集，精餾釜的溫度為-120～-145℃，然后精餾釜(8)升溫，精餾釜(8)中的氣相部分通過精餾柱(9)上升到冷凝器(10)中，此氣相部分在冷凝器(10)中被冷卻到-115～-135℃，大部分三氟化硼氣體被液化變成下降液體流回精餾釜(8)，雜質經吸附器(11)和真空機組(12)后再經廢氣處理系統處理達標后再排放；冷凝器(10)中通過管道(2)排出的即為高純三氟化硼氣體。????

2.一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：包括緩沖罐(1)的出口通過管道(2)和閥門(3)與凈化器(4)密封相通，凈化器(4)與氟氣儲罐(5)密封相通，氟氣儲罐(5)與反應器(6)密封相通，反應器(6)與除塵器(7)密封相通，除塵器(7)與精餾釜(8)密封相通，精餾釜(8)通過精餾柱(9)與冷凝器(10)密封相通，冷凝器(10)與吸附器(11)和真空機組(12)密封相通。

3.根據權利要求2所述的一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：緩沖罐(1)、管道(2)、閥門(3)、氟氣儲罐(5)、反應器(6)都采用耐氟的材料制作。??

4.根據權利要求2所述的一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：凈化器(4)為筒狀，選用耐氟氣腐蝕材質。

5.根據權利要求2所述的一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：除塵器(7)選用立式筒狀結構，內有分布器和填料，采用不銹鋼或者其它耐氫氟酸腐蝕的材質。

6.根據權利要求2所述的一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：精餾釜(8)選用不銹鋼或者其它耐低溫、耐腐蝕材質，在精餾釜8的殼體上設有夾套，夾套內有蛇形管。

7.根據權利要求2所述的一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：冷凝器(10)選用不銹鋼或者其它耐低溫、耐腐蝕材質，冷凝器(10)的殼體上設有夾套，夾套內有蛇形管。

8.根據權利要求2所述的一種制備高純三氟化硼氣體的設備，其特征在于：吸附器(11)選用不銹鋼或者其它耐高溫、耐腐蝕材質，吸附器(11)內有篩板，裝有吸附劑。