[發明專利]鑒別高速生長的化學氣相沉積金剛石單晶的方法

無效

• 申請號: 200810050651.6
• 申請日: 2008-04-25
• 公開（公告）號: CN101311339A
• 公開（公告）日: 2008-11-26
• 發明（設計）人: 李紅東;鄒廣田;王啟亮;呂憲義
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: C30B29/04
• 分類號: C30B29/04;C30B25/00
• 代理公司: 長春吉大專利代理有限責任公司
• 代理人: 王恩遠

1.一種鑒別高速生長的化學氣相沉積金剛石單晶的方法，其特征是，通過檢測金剛石單晶的光致發光光譜進行的；測試點的選擇是在所生長的金剛石單晶的生長面或/和側面選擇3～100個點；生長面或/和側面各個點的光致熒光光譜的強度有規律變化的金剛石單晶是摻氮高速化學氣相沉積金剛石單晶；所述的光致熒光光譜強度規律變化，就是在生長面中心處的氮含量高于接近邊緣及頂角的氮含量，和氮相關的光致熒光峰的強度增加；從側面沿生長面到籽晶方向，氮含量逐漸增加而后氮含量變化變小，和氮相關的光致熒光峰的強度增加而后光致熒光峰的強度變化變小；所述的測試點的選擇是，沿直線段順序選擇檢測點，即，在金剛石單晶的生長面自中心至邊或角的直線段上順序排列選擇檢測點；或/和在金剛石單晶的側面沿著單晶生長方向順序排列選擇檢測點。

2.按照權利要求1所述的鑒別高速生長的化學氣相沉積金剛石單晶的方法，其特征在于，所使用的儀器的激發光源為激光或其他光源，同一組檢測的激發光的波長，入射功率，光斑大小，信號收集方式及檢測時間要保持不變。