[發(fā)明專利]三氯氫硅的生產(chǎn)方法及其設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810044475.5
• 申請日: 2008-05-30
• 公開（公告）號(hào): CN101279735A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯于先;羅秋生;楊曉勇;劉忠文;張曉楓;許峰;蔡杰
• 申請（專利權(quán)）人: 中藍(lán)晨光化工研究院有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所
• 代理人: 趙麗

1、一種三氯氫硅的生產(chǎn)方法，其特征在于：包括如下步驟：

A、氯化氫處理：氯化氫氣體處理采用循環(huán)吸收劑吸收氯化氫氣體中的水分，再通過氯化氫壓縮機(jī)加壓至0.1～0.6Mpa(G)，然后送去三氯氫硅大型流化床反應(yīng)器；

B、硅粉烘干和推料：對于在烘粉爐經(jīng)熱氮?dú)夂娓珊蟮墓璺郏眉訜嶂?50～200℃的氮?dú)廨斔偷饺葰涔璐笮土骰卜磻?yīng)器底部；

C、合成反應(yīng)：在流化床反應(yīng)器內(nèi)，硅粉和氯化氫進(jìn)行氣固相反應(yīng)，生成三氯氫硅和四氯化硅混合物，反應(yīng)熱由導(dǎo)熱油移出送余熱鍋爐副產(chǎn)蒸汽后并入蒸汽管網(wǎng)或直接用于部分用熱設(shè)備。

D、除塵、冷凝：反應(yīng)器經(jīng)旋風(fēng)分離器和硅塵過濾器除塵，將其中殘存的硅塵回收，再送入合成氣加壓冷凝系統(tǒng)，冷凝下來的氯硅烷混合物送至單體徑流裝置進(jìn)行分離；

E、精餾分離：將經(jīng)上述處理后冷凝下來的氯硅烷混合物輸入精餾裝置，在0.1～0.6Mpa(G)壓力下精餾分離，得到純度≥99.0％的三氯氫硅和純度≥98.0％的四氯化硅；

F、尾氣回收：未被冷凝的合成尾氣送合成尾氣回收系統(tǒng)回收利用。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述三氯氫硅的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述步驟C中溫度為250～350℃和壓力0.1～0.6Mpa(G)。

3、一種實(shí)施如權(quán)利要求1所述三氯氫硅生產(chǎn)方法的設(shè)備三氯氫硅大型流化床反應(yīng)器，包括下部的反應(yīng)段(1)和上部的擴(kuò)大段(2)，反應(yīng)段(1)的下部設(shè)有硅粉進(jìn)料口(13)，反應(yīng)器上下兩端分別設(shè)有上封頭(4)和下封頭(6)，下封頭(6)上設(shè)有原料氣進(jìn)口(5)和排渣口(12)，擴(kuò)大段(2)上設(shè)有合成氣出口(9)，其特征在于：所述反應(yīng)器內(nèi)部設(shè)有由設(shè)置在擴(kuò)大段(2)簡體內(nèi)上端的導(dǎo)熱油分配箱(18)，與導(dǎo)熱油分配箱(18)連接且均勻分布的導(dǎo)熱油指形套管束(19)，以及對導(dǎo)熱油指形套管束(19)進(jìn)行彈性固定的箍管盤(20)組成的換熱結(jié)構(gòu)；所述擴(kuò)大段(2)上設(shè)有測溫口(10)、反應(yīng)段(1)上設(shè)有測壓口(11)，導(dǎo)熱油分配箱(18)上設(shè)有指形套管導(dǎo)熱油進(jìn)口(16)，擴(kuò)大段(2)上方的上封頭(4)上設(shè)有指形套管導(dǎo)熱油出口(17)；所述下封頭(6)下端連接一段椎體(3)，下封頭(6)與椎體(3)之間設(shè)有氣體分布板(8)；所述流化床床體外壁設(shè)有半管或夾套(7)、半管或夾套導(dǎo)熱油進(jìn)口(14)及半管或夾套導(dǎo)熱油出口(15)；所述箍管盤(20)分別設(shè)置在導(dǎo)熱油指形套管束(19)的上、中下段；所述下封頭(6)與氣體分布板(8)之間、氣體分布板(8)與椎體(3)之間、椎體(3)與反應(yīng)段(1)之間、反應(yīng)段(1)與擴(kuò)大段(2)之間以及擴(kuò)大段(2)與導(dǎo)熱油分配箱(18)之間、導(dǎo)熱油分配箱(18)與上封頭(4)之間分別設(shè)有法蘭。