[發明專利]光刻機硅片承載臺及其使用方法

有效

• 申請號: 200810043959.8
• 申請日: 2008-11-20
• 公開（公告）號: CN101738869A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 寧開明
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本發明涉及一種半導體制造設備，具體涉及一種光刻機硅片承載臺， 本發明還涉及該光刻機硅片承載臺的使用方法。

背景技術

目前使用的硅片承載臺，與硅片接觸的面是固定不變的。使用這種硅 片承載臺，如果硅片的背面有顆粒等粘污，硅片的正面就不在同一水平面 上。當光刻機曝光時，會使硅片上的顆粒所對應的正面圖形區域產生離焦 現象，造成光刻圖形的形貌發生變化，受影響的硅片需要進行光刻返工。 影響嚴重的硅片甚至光刻返工也不能解決問題，影響產品品質。

如果硅片上的顆粒掉在承載臺上，還會影響后續作業的產品質量，造 成光刻資源的浪費，生產成本的提高。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種光刻機硅片承載臺，它可以保 證硅片的正面在同一水平面上。

為解決上述技術問題，本發明光刻機硅片承載臺的技術解決方案為：

包括承載臺基座、真空孔、應力感應器、連接器、硅片接送器；所述 承載臺基座上設有多個真空孔及硅片接送器；承載臺基座底部設有連接器； 所述承載臺基座的表面設置多個應力感應器。

所述應力感應器的頂端高于承載臺基座的上表面。所述應力感應器連 接力電轉換電路，力電轉換電路的輸出端與終端控制器連接，終端控制器 連接動力馬達。所述各應力感應器彼此獨立。

應力感應器通過感應硅片對其作用力的作用點、大小、方向等信息， 實現伸縮，調節高度。

所述承載臺基座與硅片接送器之間為間隙配合。

本發明還提供了該光刻機硅片承載臺的使用方法，采用以下步驟固定 硅片：

第一步，驅動硅片接送器的伸縮，將硅片置于各應力感應器頂端形成 的平面上；

第二步，通過真空孔對硅片進行吸真空，使硅片與應力感應器的頂端 保持固定；

第三步，各應力感應器將感應到的硅片對其作用力的信號傳送給力電 轉換電路，力電轉換電路將該應力信號轉換為電信號，并將電信號送入終 端控制器統一處理；

第四步，終端控制器通過控制每個應力感應器的動力馬達，來控制各 應力感應器的伸縮，調節其高度，使各應力感應器的頂端形成一個動態的 接觸面，從而使硅片的正面保持在同一水平面上。

本發明可以達到的技術效果是：

本發明光刻機硅片承載臺，通過調節與硅片接觸的各應力感應器的高 度，能夠保證硅片的正面始終處于同一水平面上，避免因硅片背面存在顆 粒等沾污引起的正面圖形離焦現象，減少光刻返工的現象。

本發明的使用，既可以減小制造成本，又可以提高硅片流通速度，同 時可避免因光刻返工帶來的產品品質影響。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明：

圖1是本發明光刻機硅片承載臺的結構示意圖；

圖2是圖1的俯視圖；

圖3是應力感應器與干凈硅片接觸時，應力感應器所受作用力的示意 圖；

圖4是硅片背面有顆粒沾污時，應力感應器與硅片接觸所受的作用力 的示意圖。

圖中，1承載臺基座，2真空孔，3應力感應器，4連接器，5硅片接送 器，6硅片，F、F’應力感應器所受的作用力，7顆粒。

具體實施方式

如圖1、圖2所示，本發明光刻機硅片承載臺，包括承載臺基座1、真 空孔2、應力感應器3、連接器4、硅片接送器5；承載臺基座1上設有多 個真空孔2及硅片接送器5；承載臺基座1底部設有連接器4。

真空孔2用于對硅片6進行吸真空，以固定硅片6。硅片接送器5用于 接送硅片6。承載臺基座1與硅片接送器5之間為間隙配合，硅片接送器5 能夠在承載臺基座1上下伸縮，便于硅片6的接送。連接器4將承載臺基 座1固定于光刻機機臺上。

承載臺基座1的形狀可以是圓形、矩形、或五角形、星形等形狀。

承載臺基座1的表面設置多個應力感應器3，應力感應器3的頂端高于 承載臺基座1的上表面，各應力感應器3的頂端與硅片6背面接觸，用于 支撐硅片6。每個應力感應器3彼此獨立，每個應力感應器3連接一個動力 馬達。各應力感應器3連接一個共同的力電轉換電路，力電轉換電路的輸 出端與終端控制器連接。

本發明光刻機硅片承載臺的使用方法如下：