[發明專利]光刻機硅片承載臺及其使用方法

有效

• 申請號: 200810043959.8
• 申請日: 2008-11-20
• 公開（公告）號: CN101738869A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 寧開明
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

1.一種光刻機硅片承載臺，包括承載臺基座、真空孔、連接器、硅片 接送器；所述承載臺基座上設有多個真空孔及硅片接送器；承載臺基座底 部設有連接器；其特征在于：所述承載臺基座的表面設置多個應力感應器； 所述多個應力感應器分布于承載臺基座的表面，所述應力感應器的頂端為 圓弧形；

所述每個應力感應器能夠根據應力的大小調節高度；

所述應力感應器的頂端高于承載臺基座的上表面；

所述各應力感應器彼此獨立。

2.根據權利要求1所述的光刻機硅片承載臺，其特征在于：所述應力 感應器連接力電轉換電路，力電轉換電路的輸出端與終端控制器連接，終 端控制器連接動力馬達。

3.根據權利要求1所述的光刻機硅片承載臺，其特征在于：所述應力 感應器通過感應硅片對其作用力的作用點、大小、方向的信息，實現伸縮， 調節高度。

4.根據權利要求1所述的光刻機硅片承載臺，其特征在于：所述承載 臺基座與硅片接送器之間為間隙配合。

5.根據權利要求1所述的光刻機硅片承載臺，其特征在于：所述承載 臺基座的形狀可以是圓形、矩形、五角形或星形。

6.一種權利要求1所述的光刻機硅片承載臺的使用方法，其特征在于： 采用以下步驟固定硅片：

第一步，驅動硅片接送器的伸縮，將硅片置于各應力感應器頂端形成 的平面上；

第二步，通過真空孔對硅片進行吸真空，使硅片與應力感應器的頂端 保持固定；

第三步，各應力感應器將感應到的硅片對其作用力的信號傳送給力電 轉換電路，力電轉換電路將該應力信號轉換為電信號，并將電信號送入終 端控制器統一處理；

第四步，終端控制器通過控制每個應力感應器的動力馬達，來控制各 應力感應器的伸縮，調節其高度，使各應力感應器的頂端形成一個動態的 接觸面，從而使硅片的正面保持在同一水平面上。