[發明專利]環境參數測量方法及系統

無效

• 申請號: 200810042590.9
• 申請日: 2008-09-05
• 公開（公告）號: CN101666663A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 王勇;張誠;吳建樺;侯大維;楊洪春;呂秋玲
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所（普通合伙）
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本發明涉及測量領域，尤其涉及環境參數測量方法及系統。

背景技術

在集成電路制造過程中，由于生產區域的溫度和濕度等環境因素嚴重影響集成電路的性能，因此集成電路制造工廠需要定期測量生產區域的溫度和濕度等環境參數，以嚴密監控生產區域的環境因素，將其保持在生產需要的范圍內。

以測量生產區域的溫度和濕度為例，現有測量方法如下：監控人員每天人工在生產區域中的規定位置采集溫度及濕度，再記錄測量出的各規定位置對應的溫度和濕度；然后將記錄的溫度和濕度信息輸入到計算機，并更新到制造執行系統(MES，Manufacturing?Execution?System)及質量工程(QE，QualityEngineering)系統上。

但是由于需要測量溫度和濕度的規定位置很多，例如有134個，而且測量次數頻繁，例如每天都需要測量，因此一方面使得測量人員工作極其繁重，測量時間很長，另一方面很可能會有溫度和濕度信息的采集錯誤、記錄錯誤、信息輸入錯誤及更新錯誤等風險，這兩方面都使得測量效率降低。

發明內容

本發明提供環境參數的測量方法及系統，以提高測量效率。

本發明提出了環境參數的測量方法，包括：獲得需要測量環境參數的位置的位置信息；采集所述位置對應的環境參數值；以及存儲所述位置信息和環境參數值信息的對應關系、位置信息及環境參數值信息。

本發明還提出了環境參數的測量系統，包括：位置信息獲得單元，用于獲得需要測量環境參數的位置的位置信息；環境參數采集單元，用于采集所述位置對應的環境參數值；以及存儲單元，用于存儲所述位置信息獲得單元獲得的位置信息和環境參數采集單元采集的環境參數值信息的對應關系、位置信息及環境參數值信息。

本發明通過獲得需要測量環境參數的位置的位置信息；采集所述位置對應的環境參數值；以及存儲所述位置信息和環境參數值信息的對應關系、位置信息及環境參數值信息，實現了自動采集、記錄需要測量環境參數的位置的位置信息及對應的環境參數值信息，解決了現有環境參數測量技術中通過人工進行采集及記錄上述信息，存在的效率低下的問題，提高了環境參數的測量效率。

附圖說明

圖1為本發明實施例提出的測量方法的流程圖；

圖2為本發明實施例提出的環境參數測量系統的結構示意圖。

具體實施方式

根據上述分析，現有測量生產區域的溫度和濕度的方法是通過人工來采集、記錄和更新各個規定位置的溫度和濕度，但由于需要測量的位置多達上百個，且測量頻率較大，因此有測量效率很低的問題。針對該問題，本發明實施例提出如果可以自動采集、記錄甚至更新所述各個規定位置的溫度和濕度，則必將大大提高測量效率。基于上述想法，本發明實施例提出如下測量方法，以提高測量效率。

圖1為本發明實施例提出的測量方法的流程圖，結合該圖可知，本發明實施例提出的環境參數測量方法，包括：

步驟1，獲得需要測量環境參數的位置的位置信息；

需要測量環境參數的位置可以是預先規定的，也可以在一定區域內隨機測量，這和實際實施情況有關。

所述位置信息的形式多樣，例如可以是編號，例如位置1，位置2...等，也可以是空間描述信息，例如左上，左下等信息。

步驟2，采集所述位置對應的環境參數值；

所述環境參數值可以有多種，例如溫度和濕度等，根據具體需要，還可以有壓強，空氣質量等參數。

為實現自動記錄采集的環境參數值，較佳的，采用能夠直接或間接與計算機進行數據傳遞的測量裝置來采集環境參數，這樣即可將采集的環境參數值傳遞給計算機自動記錄起來；當然也可以先記錄到其他存儲介質上，然后轉存到計算機記錄。

步驟3，存儲所述位置信息和環境參數值信息的對應關系、位置信息及環境參數值信息。

在獲得位置信息及測量出環境參數值后，還需要將位置信息和環境參數值信息存儲起來，在存儲上述信息時，應該按照對應關系進行存儲，即還需要存儲位置信息及其對應的環境參數值的對應關系，所述對應關系可以是直接存儲，也可以是間接存儲。例如直接存儲可以采取下述形式，位置信息1對應環境參數值信息1，位置信息2對應環境參數值信息2等。而間接存儲可以是將位置信息與其對應的環境參數信息存儲在同一行，這樣也能夠起到存儲所述對應關系的作用。

此外步驟1中，為獲得位置信息，通常可以在需要測量環境參數的位置預先設置標識裝置，其內存儲有位置信息，這樣當需要獲得所述位置信息時，可以從所述標識裝置內獲得該位置信息。