[發明專利]環境參數測量方法及系統

無效

• 申請號: 200810042590.9
• 申請日: 2008-09-05
• 公開（公告）號: CN101666663A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 王勇;張誠;吳建樺;侯大維;楊洪春;呂秋玲
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所（普通合伙）
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1、一種環境參數測量方法，其特征在于，包括：

獲得需要測量環境參數的位置的位置信息；

采集所述位置對應的環境參數值；以及

存儲所述位置信息和環境參數值信息的對應關系、位置信息及環境參數值信息。

2、如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述環境參數為集成電路生產區域的環境參數。

3、如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述環境參數為溫度和濕度。

4、如權利要求1所述的方法，其特征在于，采用能夠與計算機進行數據傳遞的采集裝置采集所述環境參數。

5、如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置預先設置有標識裝置，該標識裝置存儲有該位置的位置信息；以及

從所述標識裝置內獲得所述位置信息。

6、如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述從標識裝置內獲得位置信息，具體包括：

識別所述標識裝置；

從識別出的所述標識裝置內獲得位置信息。

7、如權利要求6所述的方法，其特征在于，識別所述標識裝置，具體包括：

發送第一識別信號；

接收標識裝置根據第一識別信號返回的反饋信號；

根據所述反饋信號，識別出所述標識裝置。

8、如權利要求6所述的方法，其特征在于，識別所述標識裝置，具體包括：

接收標識裝置發送的第二識別信號；

根據第二識別信號，識別出所述標識裝置。

9、如權利要求5～8任一項所述的方法，其特征在于，所述獲得位置信息，具體包括：

接收標識裝置發送的所述位置信息。

10、如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述獲得位置信息，還具體包括：發送用于請求標識裝置發送位置信息的請求信息的步驟。

11、如權利要求2～8任一項所述的方法，其特征在于，還包括將存儲的所述對應關系及信息，更新到制造執行系統及質量工程系統的步驟。

12、一種環境參數測量系統，其特征在于，包括：

位置信息獲得單元，用于獲得需要測量環境參數的位置的位置信息；

環境參數采集單元，用于采集所述位置對應的環境參數值；以及

存儲單元，用于存儲所述位置信息獲得單元獲得的位置信息和環境參數采集單元采集的環境參數值信息的對應關系、位置信息及環境參數值信息。

13、如權利要求12所述的系統，其特征在于，包括：所述環境參數為集成電路生產區域的環境參數。

14、如權利要求13所述的系統，其特征在于，所述環境參數為溫度和濕度。

15、如權利要求14所述的系統，其特征在于，環境參數采集單元采用能夠與計算機進行數據傳遞的采集裝置，采集所述溫度和濕度。

16、如權利要求12所述的系統，其特征在于，在所述位置預先設置有標識裝置，該標識裝置存儲有該位置的位置信息；以及所述位置信息獲得單元從所述標識裝置內獲得所述位置信息。

17、如權利要求12～16中任一項所述的系統，其特征在于，還包括用于將存儲的所述對應關系及信息，更新到制造執行系統及質量工程系統的單元。