[發明專利]用于光刻設備的工件臺

有效

• 申請號: 200810042356.6
• 申請日: 2008-09-01
• 公開（公告）號: CN101354537A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 張鋒;齊芊楓
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/027
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及半導體設備制造領域，特別涉及光刻機等光刻制造設備裝置中的工件臺。

背景技術

Bumping后封裝光刻機由于能對集成電路(IC)高密度引腳可靠快速的封裝處理，在占據IC制造成本三分之一的封裝測試業中得到大規模的應用，相比于IC制造前道工序的光刻機，Bumping后封裝光刻機精度較低，其結構形式也較前道光刻機差異很大，一般比前道光刻機簡單。

目前應用廣泛的Bumping后封裝光刻機，在應用中發現其工件臺系統過于復雜。例如XX公司生產的步進光刻機中硅片厚度補償機構(也稱調平調焦機構)采用了復雜的滑動絲杠和輪系相結合的傳動方案，工件臺的硅片接片手也采用復雜的獨立驅動機構，使得整個工件臺系統結構形式過于復雜，占用空間較大。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于光刻設備的工件臺，省卻了接片手復雜的驅動機構，有效減少工件臺尺寸，使工件臺整體結構簡單緊湊，且成本低廉，同時使該工件臺重心下降，有效增強工件臺運動平穩性。

本發明的目的是這樣實現的：

一種用于光刻設備的工件臺，包括下支撐板、調平調焦機構、接片手、曝光臺，所述調平調焦機構分別與曝光臺和下支撐板連接，所述接片手與下支撐板固定連接，在交接硅片時相對不動，所述曝光臺上具有供接片手從中穿過的開口，在調平調焦機構的作用下可相對下支撐板作升降運動，依靠所述柔性調節結構，垂向水平向解耦，并實現精確定位。

所述調平調焦機構包括音圈電機組和柔性機構，所述音圈電機組的每個音圈電機的動子與下支承撐板固定連接，所述每個音圈電機的定子經柔性機構與曝光臺連接。

所述音圈電機組是由固設在下支撐板上呈等邊三角形分布的三個音圈電機組成。

所述柔性機構包括三角簧板、柔性簧片及波紋管，所述曝光臺和所述下支撐板通過波紋管連接，所述三角簧板與所述音圈電機組中的每個音圈電機的定子固定連接，所述三角簧板與柔性簧片固定連接，所述柔性簧片與曝光臺固定連接。

所述波紋管的上端經一固定座與曝光臺連接，所述波紋管的下端經一導向軸與固設在下支撐板上中心處的一導套連接，其中導軸與導套間具有一定厚度的氣膜，所述柔性簧片和三角簧板從上至下依次穿套在導套外側。

所述三角簧板采用不銹鋼制造。

所述柔性簧片采用65Mn淬火處理。

所述曝光臺包括上支撐板、吸盤座和吸盤，所述上支撐板上固連有吸盤座，所述吸盤座上固連有吸盤，所述上支撐板、吸盤座和吸盤上分別具有供接片手從中穿過的開口。

所述曝光臺與下支撐板之間通過若干拉簧連接。

與現有技術相比，本發明具有如下優點和積極效果：

其一，工件臺接片手與調平調焦機構固聯在下支撐板上，而不是像其他技術方案那樣對接片手采用獨立驅動機構。改變慣用做法，省卻接片手驅動機構，減小了工件臺尺寸，使工件臺整體結構簡單緊湊，成本低廉。

其二，工件臺與傳輸機械手交接片時，采用工件臺接片手不動，曝光臺上下運動的結構方案，實現工件臺上下片功能。相比于其他工件臺方案，本發明重心下降，能夠有效增強工件臺運動平穩性。

其三，通過采用音圈電機驅動，使得工件臺在垂向自由度上能夠精確移動定位調整硅片，能夠在高速情況下對硅片進行高精度定位。

附圖說明

圖1是本發明工件臺的結構示意圖；

圖2是圖1所示的工件臺的側視結構示意圖；

圖3是圖1的A-A剖視示意圖；

圖4是三角簧片的結構示意圖；

圖5是柔性彈片的結構示意圖；

圖6是圖5的正視示意圖；

圖7是圖3中的B部放大示意圖即柔性機構結構示意圖；

圖8是圖3中的C部放大示意圖即波紋管導套連接示意圖；

圖中：60-下支撐板，61-反射鏡支架，62-拉簧，63-反射鏡，64-上支撐板，65-吸盤座，66-吸盤，67-接片手，68-工件臺對準標記，69-旋轉電機安置座，70-柔性簧片，71-三角簧板，72-音圈電機，73-導向軸，74-導套，75-波紋管。

具體實施方式

以下將對本發明接片手固定不動且具有大行程運動的工件臺作進一步的詳細描述。