[發明專利]用于光刻設備的工件臺

有效

• 申請號: 200810042356.6
• 申請日: 2008-09-01
• 公開（公告）號: CN101354537A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 張鋒;齊芊楓
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/027
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種用于光刻設備的工件臺，包括下支撐板、調平調焦機構、接片手、曝光臺，所述調平調焦機構分別與曝光臺和下支撐板連接，其特征在于：所述接片手與下支撐板固定連接，所述曝光臺上具有供接片手從中穿過的開口，所述曝光臺在調平調焦機構的作用下可相對下支撐板作升降運動。

2.如權利要求1所述的用于光刻設備的工件臺，其特征在于：所述調平調焦機構包括音圈電機組和柔性機構，所述音圈電機組的每個音圈電機的動子與下支承撐板固定連接，所述每個音圈電機的定子經柔性機構與曝光臺連接。

3.如權利要求2所述的用于光刻設備的工件臺，其特征在于：所述音圈電機組是由固設在下支撐板上呈等邊三角形分布的三個音圈電機組成。

4.如權利要求2所述的用于光刻設備的工件臺，其特征在于：所述柔性機構包括三角簧板、柔性簧片及波紋管，所述曝光臺和所述下支撐板通過波紋管連接，所述三角簧板與所述音圈電機組中的每個音圈電機的定子固定連接，所述三角簧板與柔性簧片固定連接，所述柔性簧片與曝光臺固定連接。

5.如權利要求4所述的用于光刻設備的工件臺，其特征在于：所述波紋管的上端經一固定座與曝光臺連接，所述波紋管的下端經一導向軸與固設在下支撐板上中心處的一導套連接，其中導軸與導套間具有一定厚度的氣膜，所述柔性簧片和三角簧板從上至下依次穿套在導套外側。

6.如權利要求1所述的用于光刻設備的工件臺，其特征在于：所述曝光臺包括上支撐板、吸盤座和吸盤，所述上支撐板上固連有吸盤座，所述吸盤座上固連有吸盤，所述上支撐板、吸盤座和吸盤上分別具有供接片手從中穿過的開口。

7.如權利要求1所述的用于光刻設備的工件臺，其特征在于：所述曝光臺與下支撐板之間通過若干拉簧連接。