[發明專利]拉西環的清洗裝置

有效

• 申請號: 200810038389.3
• 申請日: 2008-05-30
• 公開（公告）號: CN101590475A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: 周金鋒;敖擁軍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本發明涉及半導體領域的可用于清洗拉西環的清洗裝置。

背景技術

半導體產品的制程繁雜多樣，且制程中所使用的化學物質種類相當繁多。為了避免有毒的廢氣排放到空氣中，在廢氣排放之前，必須先采用廢氣處理系統如洗滌塔對廢氣進行處理。無論是位于機臺端的本地洗滌塔(local?scrubber)還是處于廠務端的中央洗滌塔(center?scrubber)，大部分采用的是填充式的濕式洗滌塔。

在濕式洗滌塔中，承載填充物的部件是拉西環。使用一段時間后，拉西環上會堆積很多污垢，如果不及時處理的話，就會影響廢氣處理的質量與效率。因此，需要定期清洗拉西環。目前沒有專門用于清洗拉西環的裝置，僅是將一堆拉西環放在清洗槽中用高壓水柱沖洗。這種清洗方式不容易將拉西環清洗干凈，而且幾個拉西環就會使整個清洗槽內的水變得混濁，從而浪費大量的水。

發明內容

有鑒于此，本發明解決的技術問題在于提供一種高效率的拉西環的清洗裝置。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種拉西環的清洗裝置。所述清洗裝置包括相隔設置的用于放置拉西環的清洗槽以及對清洗產生的廢水進行過濾的過濾器；所述清洗槽的深度小于清洗裝置的深度，且清洗槽上設有數個小于拉西環的漏孔。

進一步地，所述清洗裝置還包括位于清洗槽和過濾器之間的溢出板，所述溢出板的高度低于清洗槽；所述溢出板擋住順清洗槽流下的沉淀物，所述過濾器對溢過所述溢出板的廢水進行過濾。

進一步地，所述清洗槽上的數個漏孔均設置在清洗槽的底壁上。

進一步地，所述過濾器呈板狀，可拆卸地豎直安裝在所述清洗裝置內。所述過濾器包括平行相隔設置的第一過濾器和第二過濾器，第一過濾器靠近清洗槽，且高度低于第二過濾器；第二過濾器上的過濾網比第一過濾器上的過濾網細。

與現有技術相比，本發明提供的清洗裝置不僅可以有效地將拉西環上堆積的污垢清洗干凈，而且可以對廢水進行過濾，使得清洗產生的廢水可以進行重復利用，進而節約水資源。

附圖說明

圖1是本發明實施例拉西環的清洗裝置的立體示意圖。

圖2是本發明實施例拉西環的清洗裝置的截面示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明拉西環的清洗裝置的較佳實施例作詳細描述，以期進一步理解發明的技術方案、目的以及有益效果等。

圖1為本實施例的拉西環的清洗裝置的立體示意圖。請結合圖2，該清洗裝置由前、后、左、右及底壁圍繞而成，呈長方體狀。該清洗裝置的右側設有清洗槽1，深度大致是整個清洗裝置的一半，用于放置需要清洗的拉西環8。該清洗槽1由豎直放置的止擋板12、水平放置的底壁10以及清洗裝置的部分右壁和后壁圍繞形成。所述底壁10上具有若干個漏孔11，漏孔11的形狀可以是圓形，也可以是方形等其他形狀，只要小于拉西環8避免拉西環8掉出清洗槽1就可以使用。所述清洗槽1和溢出板2可以采用聚氯乙烯(PVC)或者聚丙烯(PP)材料制成。該清洗裝置還設有豎直放置的溢出板2，其高度低于底壁10的位置，所述止擋板12向下延伸超過溢出板2。位于溢出板2左側依次安裝有第一過濾器3、第二過濾器4以及作為廢水抽取部件的水泵5。水泵5通過管道6將廢水排到廢水處理系統，其中管道6上還設有第三個過濾器即透明過濾器7。所述溢出板2、第一過濾器3及第二過濾器4相互平行，且均呈板狀，從清洗裝置的前壁延伸至后壁。另外，第二過濾器4的高度與清洗裝置的深度相同，以方便對所有廢水進行過濾。第一過濾器3高度低于第二過濾器4，第一過濾器3的過濾網的濾網較粗，而第二過濾器4的過濾網較細。第一過濾器3及第二過濾器4可以采用尼龍或者不銹鋼材料制成。

清洗拉西環時，首先將需要清洗的拉西環8放入清洗槽1內，工作人員利用0.8兆帕(Mpa)的高壓水槍對拉西環8進行沖洗。沖洗后的水通過底壁10上的漏孔11漏出，在溢出板2和底壁10阻隔的區域里，廢水中質量較重的雜質沉淀下來，實現第一次過濾。廢水溢過溢出板2，由第一過濾器3和第二過濾器4對廢水中的雜質進一步過濾。最后，安裝在管道6上的透明過濾器7對微小雜質進一步過濾。圖2中箭頭的方向就是廢水流動的方向。使用本發明的清洗裝置不僅可以實現對拉西環的有效清洗，而且通過對廢水的多重過濾，可以對廢水進行重復利用，大大節省了水資源。

所述底壁10、溢出板2、第一過濾器3及第二過濾器4均是可拆除地安裝在清洗裝置上的，這樣可以在使用一段時間后，方便更換損壞的部件。

上述描述，僅是對本發明較佳實施例的具體描述，并非對本發明的任何限定。對于本領域的普通技術人員來說，可以根據上述揭示內容進行簡單修改、添加、變換，但均屬于權利要求書中保護的內容。