[發明專利]拉西環的清洗裝置有效
| 申請號： | 200810038389.3 | 申請日： | 2008-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN101590475A | 公開（公告）日： | 2009-12-02 |
| 發明（設計）人： | 周金鋒;敖擁軍 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拉西環 清洗 裝置 | ||
1.?一種拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置包括相隔設置的用于放置拉西環的清洗槽以及對清洗產生的廢水進行過濾的過濾器；所述清洗槽的深度小于清洗裝置的深度，且清洗槽上設有數個小于拉西環的漏孔。
2.?如權利要求1所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括位于清洗槽和過濾器之間的溢出板，所述溢出板的高度低于清洗槽；所述溢出板擋住順清洗槽流下的沉淀物，所述過濾器對溢過所述溢出板的廢水進行過濾。
3.?如權利要求1所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽上的數個漏孔均設置在清洗槽的底壁上。
4.?如權利要求1所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述過濾器呈板狀，可拆卸地豎直安裝在所述清洗裝置內。
5.?如權利要求1所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述過濾器包括平行相隔設置的第一過濾器和第二過濾器。
6.?如權利要求5所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述第一過濾器靠近清洗槽，且高度低于第二過濾器。
7.?如權利要求5所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述第一過濾器靠近清洗槽，且第二過濾器上的過濾網比第一過濾器上的過濾網細。
8.?如權利要求1所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括將過濾后的廢水抽出清洗裝置的廢水抽取部件。
9.?如權利要求8所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述廢水抽取部件通過管道將廢水排入廢水處理系統；所述管道上安裝有對廢水進一步過濾的另一過濾器。
10.?如權利要求9所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述另一過濾器為透明過濾器。
11.?如權利要求1所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括向清洗槽注水的水槍。
12.?如權利要求11所述的拉西環的清洗裝置，其特征在于，所述水槍的水注入壓強是0.8兆帕。
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