[發明專利]束源爐中源材料熔化時對應熱偶溫度的測量方法有效
| 申請號： | 200810035446.2 | 申請日： | 2008-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN101311299A | 公開（公告）日： | 2008-11-26 |
| 發明（設計）人： | 龔謙;王海龍;徐海華 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/54;C30B23/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 束源爐中源 材料 熔化 對應 溫度 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.分子束外延技術中測量束源爐中源材料熔化時對應熱偶溫度數值的方法，其特征在于具體步驟是：
(a)測量出束源爐升溫時的熱偶溫度-功率曲線；升溫速率為0.01～0.05℃/s。
(b)測量出束源爐降溫時的熱偶溫度-功率曲線；降溫速率為0.01～0.05℃/s。
(c)束源爐升溫時的熱偶溫度-功率曲線上出現一個向上的肩峰，束源爐降溫時的熱偶溫度-功率曲線上出現一個向下的肩峰，將升溫時的熱偶溫度--功率曲線上源材料開始熔化的對應溫度和降溫時的熱偶溫度-功率曲線上源材料開始凝固的對應溫度進行比較，從而得出源材料熔化時對應束源爐中熱偶的溫度；
2.按權利要求1所述的測量源爐中源材料熔化時對應熱偶溫度數值的方法，其特征在于對于源材料為Al時，從升溫時的溫度-功率曲線確定的Al開始熔化溫度為708℃，從降溫時的溫度-功率曲線上確定的鋁開始凝固溫度為715℃。
3.按權利要求2所述的測量源爐中源材料熔化時對應熱偶溫度數值的方法，其特征在于升溫和降溫時的升溫和降溫速率為0.03℃/s。
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