[發明專利]一種液晶顯示裝置的制造方法及其TFT完成基板

有效

• 申請號: 200810034961.9
• 申請日: 2008-03-21
• 公開（公告）號: CN101256986A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 徐華偉
• 申請（專利權）人: 上海廣電光電子有限公司
• 主分類號: H01L21/84
• 分類號: H01L21/84;H01L21/768;H01L27/12;H01L23/522;H01L23/60;G02F1/1362;G02F1/133;G03F7/00
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司
• 代理人: 白璧華

技術領域

本發明涉及一種半導體元件及制造方法，尤其涉及薄膜晶體管液晶顯示裝置的制造方法及TFT完成基板，該TFT完成基板上設置有多個液晶顯示面板單元。

背景技術

液晶顯示器(liquid?crystal?display，LCD)是目前最被廣泛使用的一種平面顯示器，具有低功耗、外型薄、重量輕以及低驅動電壓等特征。液晶顯示器模塊主要由液晶顯示面板和背光模塊所構成。其中，液晶顯示面板通常是由薄膜晶體管陣列基板(TFT基板)、彩色濾光膜基板(CF基板)以及設置于兩者之間的液晶層所構成。而背光模塊用以提供上述液晶顯示面板所需的面光源，以使液晶顯示模塊達到顯示的效果。TFT基板可分為顯示區域(display?Area)和外圍電路(peripheral?circuit?area)，其中顯示區域包含以陣列結構排列的多個子像素單元，每個子像素單元包括一個或者多個薄膜晶體管以及與之連接的像素電極。此外，在外圍電路與顯示區域內設置有多條掃描線與數據線，其中每一個像素單元的薄膜晶體管由對應的掃描線與數據線所控制。

液晶顯示面板通常會因為外在因素，例如連續的制程操作以及搬運或者環境變化等，而在面板內產生靜電積累的現象。由于玻璃本身是絕緣物質，因此除非有適當的放電通道，否則靜電荷會一直停留在基板表。如此一來，當靜電電荷積累到一定數量以后，便可能因為靜電放電，而導致TFT基板上的電路或者是薄膜晶體管本身遭到破壞。如何以靜電放電防護的措施解決基板帶電的問題，是液晶面板制程特別是大尺寸液晶面板制程當中非常重要的課題。

如圖1所示，是公知技術中關于制作陣列基板時靜電防護措施之一種。如圖所示，是對陣列基板的薄膜晶體管像素進行電性檢測的一種布線結構，同時也可以起到預防靜電的效果。具體方式為利用多條測試電路線(第一、第二數據短路線1、2，第一、第二柵極短路線3、4)分別連接奇數條之柵極配線、偶數條之柵極配線、奇數條之數據配線、偶數條之數據配線，并且由測試電路之輸入端(arraytest?pad)輸入測試信號，再以非接觸式的電光模塊作為信號接收端，以判斷薄膜晶體管是否工作正常。這些測試用的電路線分別并聯柵極配線和數據配線的奇數以及偶數條，在一定程度上可以分攤靜電帶來的影響，減少靜電破壞的發生。靜電防護方面，這樣的電路面板切斷之后就會被去除，因此這樣的措施對陣列階段之后的制程缺少靜電防護作用；即使在陣列階段，這些測試線由于要與柵極線和數據線跨接，需要做在不同的層別上，因此彼此之間的導通需要到最后打孔之后的ITO金屬成膜之后才能完成，也就是說，在最后一道制程ITO成膜之前，陣列工藝制程對于靜電破壞處于完全無防護狀態。

如圖2所示，是公知技術中關于制作陣列基板時靜電防護措施之另一種。如圖所示，在陣列基板的有效顯示區域和周邊電路之間放置內部抗靜電環(inner?shortring)20或者外部抗靜電環(out?short?ring)，通過兩個反向的二極管結構把發生在局部區域的靜電疏導到整個面板回路當中去，以降低靜電破壞發生的概率。但是這種防護措施也有其缺陷，因為它是靠兩個反向的晶體管來工作，因此其靜電防護必須在晶體管的整體結構完成之后才能生效，也就是說，與前一種制程技術相似，在ITO金屬成膜之前的整個陣列制程中，這種結構并不能防止靜電破壞的產生。

如圖3所示，是公知技術中關于制作陣列基板時靜電防護措施之一種。如圖所示，把掃描線和數據線的末端制作成尖銳的形狀，并于掃描線或者數據線的末端相對處放置一梳齒型金屬帶5，梳形金屬帶5一般采取浮置方式，金屬帶5的梳齒末端也制作成尖銳的形狀，并于掃描線或者數據線的尖銳末端相對。末端制作成尖銳形狀的作用是可以將玻璃基板上存在的靜電荷，通過尖端處易于放電的效應，將靜電電荷自玻璃基板上釋放出來，從而達到靜電放電防護的效果。其更進一步的做法是在兩尖端相對處放置一半導體襯底6以代替原來的絕緣膜，以此來增大導通電流，改善放電效果。但是這樣的防護方式也有其缺點，就是兩個尖端之間的距離不好控制，距離太遠導致放電困難，失去防護效果，距離太近會發生配線之間的短路，而造成面板的不良。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種新的顯示裝置的制造方法TFT完成基板，利用多灰階掩膜曝光技術，使面板的外圍周邊回路的金屬成互連結構能更早地形成，有效增加液晶顯示裝置制造過程中的靜電保護。

本發明為解決上述技術問題而采用的液晶顯示裝置的制造方法，其TFT基板制作步驟包括：

提供一玻璃基板，設置有多個液晶顯示面板單元和面板外圍區域，