[發(fā)明專利]三自由度反射鏡調(diào)整裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810032841.5
• 申請(qǐng)日: 2008-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN101216590A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王洪尊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G02B7/182
• 分類號(hào): G02B7/182
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種反射鏡調(diào)整裝置，包括一反射鏡鏡框和一調(diào)節(jié)基座，其中該反射鏡鏡框一側(cè)安裝有一反射鏡，另一側(cè)與調(diào)節(jié)基座相對(duì)，其特征是，該反射鏡調(diào)整裝置還包括：

一線位移調(diào)整件，連接上述反射鏡鏡框與調(diào)節(jié)基座，其一端萬向連接于反射鏡鏡框與調(diào)節(jié)基座相對(duì)的一側(cè)，另一端軸向連接調(diào)節(jié)基座，

其中該線位移調(diào)整件與反射鏡鏡框的連接位置與上述反射鏡的幾何中心處相對(duì)應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，其中通過調(diào)整上述線位移調(diào)整件的軸向位移，可調(diào)整反射鏡鏡框與調(diào)節(jié)基座之間的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，還包括：

一鎖固件，當(dāng)反射鏡鏡框與調(diào)節(jié)基座之間的距離滿足要求時(shí)，將線位移調(diào)整件鎖固于上述調(diào)節(jié)基座。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，其中上述鎖固件為一鎖固螺母。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，其中上述線位移調(diào)整件為一球頭螺桿，其與反射鏡鏡框相連的一端為球形端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，其中上述反射鏡鏡框與調(diào)節(jié)基座相對(duì)的一側(cè)具有一球形槽，其位置與上述反射鏡的幾何中心處相對(duì)應(yīng)，上述球頭螺桿的球形端位于該球形槽內(nèi)，其另一端軸向連接于上述調(diào)節(jié)基座，且該球頭螺桿可以繞著球形槽的軸線做自由旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，還包括：

一連接螺母，將上述球頭螺桿的球形端固定于球形槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，還包括：

多個(gè)角度調(diào)整銷，軸向連接于調(diào)節(jié)基座與反射鏡鏡框之間，其中通過調(diào)整角度調(diào)整銷的軸向位移，調(diào)整反射鏡上下俯仰和左右傾斜的角度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，其中上述角度調(diào)整銷為四個(gè)，分別穿過上述調(diào)節(jié)基座而接于上述反射鏡鏡框的四個(gè)邊角處。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，其中上述角度調(diào)整銷為微調(diào)螺釘。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡調(diào)整裝置，其特征是，還包括：

一支撐架，其中上述調(diào)節(jié)基座安裝于該支撐架上。