[發明專利]三自由度反射鏡調整裝置

無效

• 申請號: 200810032841.5
• 申請日: 2008-01-21
• 公開（公告）號: CN101216590A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 王洪尊
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B7/182
• 分類號: G02B7/182
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及一種光學反射鏡的調整裝置，特別是涉及一種具有三自由度的光學反射鏡的調整裝置。

背景技術

反射鏡是一種重要的光學元器件，在光學儀器中占有十分重要的地位。目前，在光學儀器的使用中，反射鏡的主要作用是用來實現光束的轉折及其方向的改變，所以，反射鏡的安裝、固定與調整，都起著十分重要的作用。在反射鏡的調整過程中，傾角的調整往往會引起中心光線反射點的位置發生改變，從而造成中心光線反射點前后距離發生變化，致使局部光程發生偏移。以下以傳統直頂式兩維角度圓形調整架為例，加以說明。

請參考圖1和圖2，其分別為傳統直頂式兩維角度圓形調整架的側視圖以及立體圖。如圖所示，該調整架包括支撐架11，調節基座16，反射鏡鏡框14以及嵌于反射鏡鏡框14內的反射鏡18。連接彈簧15連接反射鏡鏡框14與調節基座16，支撐圓球12，微調螺釘13、17用以調節反射鏡的角度，然而由于調節支撐點的支撐圓球12在調整架的一角，而反射鏡18的工作面往往在其幾何中心處，因而該調整架在實現反射鏡的角度調整時，往往會造成光線反射點前后光程發生變化，從而引起工作面的絕對距離發生改變。故此種裝置在發生變化后，由于其設計固有的局限性，不能夠實現除俯仰和傾斜角度調整功能外線位移的調整，且該類裝置的剛性不穩定。

而某些光學設備，例如光刻機照明反射裝置等，對反射點位置有嚴格的要求，為此如何在反射鏡俯仰和傾斜角度調整的同時實現線位移的調整，已變得十分重要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種反射鏡調整裝置，以解決傳統調整裝置中出現的于傾角調整時反射點位置發生變化的問題。

為達上述目的，本發明提供一種反射鏡調整裝置，包括：一反射鏡鏡框和一調節基座，其中該反射鏡鏡框一側安裝有一反射鏡，另一側與調節基座相對；一線位移調整件，連接上述反射鏡鏡框與調節基座，其一端萬向連接于反射鏡鏡框與調節基座相對的一側，另一端軸向連接調節基座，其中該線位移調整件與反射鏡鏡框的連接位置與上述反射鏡的幾何中心處相對應。

進一步的，通過調整上述線位移調整件的軸向位移，可調整反射鏡鏡框與調節基座之間的距離。

進一步的，上述反射鏡調整裝置還包括：一鎖固件，當反射鏡鏡框與調節基座之間的距離滿足要求時，將線位移調整件鎖固于上述調節基座。

進一步的，上述鎖固件為一鎖固螺母。

進一步的，上述線位移調整件為一球頭螺桿，其與反射鏡鏡框相連的一端為球形端。

進一步的，上述反射鏡鏡框與調節基座相對的一側具有一球形槽，其位置與上述反射鏡的幾何中心處相對應，上述球頭螺桿的球形端位于該球形槽內，其另一端軸向連接于上述調節基座，且該球頭螺桿可以繞著球形槽的軸線做自由旋轉。

進一步的，上述反射鏡調整裝置還包括：一連接螺母，將上述球頭螺桿的球形端固定于球形槽內。

進一步的，上述反射鏡調整裝置還包括：多個角度調整銷，軸向連接于調節基座與反射鏡鏡框之間，其中通過調整角度調整銷的軸向位移，調整反射鏡上下俯仰和左右傾斜的角度。

進一步的，上述角度調整銷為四個，分別穿過上述調節基座而接于上述反射鏡鏡框的四個邊角處。

進一步的，上述角度調整銷為微調螺釘。

進一步的，上述反射鏡調整裝置還包括：一支撐架，其中上述調節基座安裝于該支撐架上。

綜上所述，本發明利用萬向節的多自由度工作原理，實現反射鏡傾斜和俯仰的調節，同時通過控制調節基座與反射鏡鏡框之間的距離來實現另一自由度線位移的調節。與傳統調整裝置相比，其具有如下優點：

在光路調試中，獲得精確角度偏移的情況下，能夠保持光線反射前后反射點的位置不發生改變，局部光程穩定；

在光路調試中，尤其針對光刻機等對反射點位置有嚴格的要求的設備，在獲得精確角度偏移的情況下，能夠根據需要，適時調整光線反射前后反射點的位置；

避免使用彈簧連接，減少了系統工作中的不穩定因素，克服了同類調整機構模態低的缺點。

附圖說明

圖1為傳統直頂式兩維角度圓形調整架的側視圖；

圖2為傳統直頂式兩維角度圓形調整架的立體圖；

圖3為本發明一實施例的反射鏡調整裝置的立體結構示意圖；

圖4為本發明一實施例的反射鏡調整裝置的側面剖視圖；

圖5為本發明一實施例的反射鏡調整裝置的主視圖。

具體實施方式

為使本發明的目的、特征更明顯易懂，下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步的說明。