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[發明專利]壓電晶體諧振器電極形狀設計方法無效

專利信息
申請號: 200810030833.7 申請日: 2008-03-18
公開(公告)號: CN101257287A 公開(公告)日: 2008-09-03
發明(設計)人: 楊增濤;楊嘉實;蔣樹農;郭少華;李顯方 申請(專利權)人: 中南大學
主分類號: H03H9/13 分類號: H03H9/13
代理公司: 中南大學專利中心 代理人: 胡燕瑜
地址: 410083*** 國省代碼: 湖南;43
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摘要:
搜索關鍵詞: 壓電 晶體 諧振器 電極 形狀 設計 方法
【說明書】:

技術領域

發明涉及壓電晶體諧振器中電極的優化設計方法。

背景技術

石英晶體諧振器是各類電子產品的基本元件,在家用電器、通訊、導航、精確計時、傳感器等眾多領域有著重要應用。電極是諧振器的重要組成部分,它對諧振器的微型化和精確度有重要的影響。

電極用來激發諧振器的機械振動,其質量可以實現能陷功能,隨著諧振器微型化的發展,電極形狀研究也越來越受到重視。現有的石英晶體諧振器中的電極形狀是圓形或者矩形,沒有進行充分的優化設計,不能滿足電極能陷、諧振器微型化以及Bechmann數要求,其中矩形電極在角上容易引起應力集中,對諧振器整體性能有不利影響。充分考慮以上因素,結合Mindlin、Steven和Tiesten的理論,計算出幾種常用石英晶體諧振器電極的最優形狀和尺寸,電極滿足能陷要求、微型化要求以及每個方向上的Bechmann數。

發明內容

為克服傳統壓電晶體諧振器電極不能滿足能陷、微型化和Bechmann數等要求,本發明提供出幾種常用壓電晶體諧振器最優電極形狀,滿足電極能陷、諧振器微型化以及Bechmann數要求,提高諧振器的工作性能。

本發明解決其技術問題采用的技術方案是:

對于Y切石英板、At切石英板和Y切蘭克賽晶體(1angasite)板厚度剪切模式諧振器,x1軸和x3軸是平面內坐標軸,x2是板的法向坐標軸,為平面內x1軸到x3軸的轉角,最優電極長度L隨角度的表達式為:

式中2h是板的厚度,其它參量由以下表達式表達:

γ11=s33s11s33-s132=c11-c122c22-(c14-c12c24c22)2c44-c242c22,]]>

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