[發明專利]壓電晶體諧振器電極形狀設計方法無效
| 申請號: | 200810030833.7 | 申請日: | 2008-03-18 |
| 公開(公告)號: | CN101257287A | 公開(公告)日: | 2008-09-03 |
| 發明(設計)人: | 楊增濤;楊嘉實;蔣樹農;郭少華;李顯方 | 申請(專利權)人: | 中南大學 |
| 主分類號: | H03H9/13 | 分類號: | H03H9/13 |
| 代理公司: | 中南大學專利中心 | 代理人: | 胡燕瑜 |
| 地址: | 410083*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 晶體 諧振器 電極 形狀 設計 方法 | ||
技術領域
本發明涉及壓電晶體諧振器中電極的優化設計方法。
背景技術
石英晶體諧振器是各類電子產品的基本元件,在家用電器、通訊、導航、精確計時、傳感器等眾多領域有著重要應用。電極是諧振器的重要組成部分,它對諧振器的微型化和精確度有重要的影響。
電極用來激發諧振器的機械振動,其質量可以實現能陷功能,隨著諧振器微型化的發展,電極形狀研究也越來越受到重視。現有的石英晶體諧振器中的電極形狀是圓形或者矩形,沒有進行充分的優化設計,不能滿足電極能陷、諧振器微型化以及Bechmann數要求,其中矩形電極在角上容易引起應力集中,對諧振器整體性能有不利影響。充分考慮以上因素,結合Mindlin、Steven和Tiesten的理論,計算出幾種常用石英晶體諧振器電極的最優形狀和尺寸,電極滿足能陷要求、微型化要求以及每個方向上的Bechmann數。
發明內容
為克服傳統壓電晶體諧振器電極不能滿足能陷、微型化和Bechmann數等要求,本發明提供出幾種常用壓電晶體諧振器最優電極形狀,滿足電極能陷、諧振器微型化以及Bechmann數要求,提高諧振器的工作性能。
本發明解決其技術問題采用的技術方案是:
對于Y切石英板、At切石英板和Y切蘭克賽晶體(1angasite)板厚度剪切模式諧振器,x1軸和x3軸是平面內坐標軸,x2是板的法向坐標軸,為平面內x1軸到x3軸的轉角,最優電極長度L隨角度的表達式為:
式中2h是板的厚度,其它參量由以下表達式表達:
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