[發(fā)明專利]一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器掩膜板的制作方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810026445.1
• 申請(qǐng)日: 2008-02-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101250685A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柯賢軍;蘇君海;謝志生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 信利半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 宣國(guó)華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在顯示器制作過(guò)程中用于真空鍍膜部件，特別涉及一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器掩膜板的制作方法。

背景技術(shù)

有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)行業(yè)的起步和發(fā)展，給我國(guó)在顯示器行業(yè)在世界的地位帶來(lái)了機(jī)遇。目前，用于OLED制作過(guò)程中真空鍍膜的掩膜板基本上都是產(chǎn)自日、韓等國(guó)，國(guó)內(nèi)的OLED掩膜板也大都是從日、韓等國(guó)進(jìn)口，因?yàn)檠谀ぐ寮庸ぞ纫蠛芨撸粗咐旌秃附咏饘俨牧想y度較大，造成制造工藝十分復(fù)雜，使得掩膜板的價(jià)格十分昂貴。

OLED鍍膜掩膜板是由一種導(dǎo)磁性薄不銹鋼片和導(dǎo)磁不銹鋼外框構(gòu)成。在現(xiàn)有技術(shù)中，薄鋼片上預(yù)先開(kāi)有各種矩形、圓形或其它類型的小孔，掩膜板在OLED制作中與玻璃基板通過(guò)磁鐵吸附在一起，在真空環(huán)境下有機(jī)材料或者金屬蒸汽會(huì)沉積在未被掩膜板擋住的區(qū)域而形成設(shè)計(jì)者所需的特定圖案，被掩膜板蓋住部分沒(méi)有材料沉積而被保護(hù)起來(lái)。在真空中，玻璃基板與掩膜板通過(guò)磁鐵吸附被懸于被蒸鍍材料上方，由于玻璃基板上的圖案精度很高，所以要求組成掩膜板的材料導(dǎo)磁性好，且開(kāi)口線條非常平整、規(guī)則；玻璃基板與掩膜板貼合后，二者的相對(duì)位置不能移動(dòng)，精度要求10μ級(jí)或以下，那么必然要求掩膜板上的薄鋼片具有較強(qiáng)的張力(一般為20lbs左右)。

中國(guó)發(fā)明專利《有機(jī)真空鍍膜掩膜板的制作方法》(0013136.0)，公開(kāi)了用焊錫將合金絲在鐵條上進(jìn)行固定的技術(shù)方案來(lái)保持張力，但是，掩膜板在真空鍍膜以后，鐵條上面的合金絲容易松塌，直接影響拉力，并且合金絲間的線距也不易控制；還有，中國(guó)發(fā)明專利《真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板》(0311675.9)，公開(kāi)的技術(shù)方案雖然可以實(shí)現(xiàn)合金絲的網(wǎng)狀拉伸，但是由于是由許多平行排列的絲線組成，而每根線必須獨(dú)立拉伸，這樣就使得線間距和張力一致性很難控制，而且在拉伸完成后，固定架用螺釘進(jìn)行固定，增加了真空腔室內(nèi)的操作難度。而且，以上的兩種方法不易控制精度，最高精度只能達(dá)到3線/mm，但是，對(duì)于OLED的像素(即一個(gè)R，G，B單元)而言，1mm的線寬就已經(jīng)非常大了，而在實(shí)際所應(yīng)用的線寬R，G，B三線總和在200μm左右，其精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于1mm的單線寬。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種能夠降低生產(chǎn)成本、簡(jiǎn)化工藝流程且產(chǎn)品結(jié)構(gòu)更為穩(wěn)固的有機(jī)電致發(fā)光顯示器掩膜板的制作方法。

本發(fā)明的目的通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器掩膜板的制作方法，包括以下步驟：(1)取一張導(dǎo)磁薄鋼片，剪裁成所需的大小和形狀，利用不銹鋼刻蝕或者通過(guò)激光切割在薄鋼片上開(kāi)孔以形成圖案，該圖案按照OLED設(shè)計(jì)要求形狀制作；(2)將面積大于薄鋼片的絲網(wǎng)平鋪在刻有圖案的導(dǎo)磁薄鋼片上，在導(dǎo)磁薄鋼片的邊緣涂上拉絲網(wǎng)用的膠水，再去除導(dǎo)磁薄鋼片圖案區(qū)域的絲網(wǎng)，然后將固定在導(dǎo)磁薄鋼片邊緣上的絲網(wǎng)進(jìn)行拉伸，導(dǎo)磁薄鋼片也被拉伸繃緊；(3)取一框體，將其貼在拉伸絲網(wǎng)上形成網(wǎng)框，粘接穩(wěn)固后，沿網(wǎng)框的外緣裁下；(4)取另一塊導(dǎo)磁鋼板切割成所需的掩膜板外框，然后把掩膜板外框置于導(dǎo)磁薄鋼片圖案開(kāi)孔區(qū)域的外圍，再將該掩膜板外框與開(kāi)孔區(qū)域外圍的導(dǎo)磁薄鋼片連接在一起，割開(kāi)絲網(wǎng)，網(wǎng)框脫落，最后沿掩膜板外框的外緣切去多余鋼片，完成掩膜板的制作。

本發(fā)明通過(guò)絲網(wǎng)拉伸薄鋼片，再通過(guò)貼合外框、焊接掩膜板外框，使得薄鋼片的張力得以保持，形成具有良好張力的掩模板，掩模板外框與具有張力的薄鋼片能夠穩(wěn)固地連接在一起，以使掩膜板在真空鍍膜過(guò)程中可以一直保持很好的張力，實(shí)現(xiàn)較好的蒸鍍效果。

所述不銹鋼刻蝕是指：把所需圖案制作成掩模板的曝光基材，做好備用；將所需規(guī)格的薄鋼片洗凈并雙面均勻涂抹光刻膠，然后在烘箱里按光刻膠的硬化溫度熱烘，再取出冷卻，使用上述曝光基材在曝光機(jī)里單面曝光，再用堿液顯影，便在薄鋼片上獲得所需刻蝕的圖案，最后經(jīng)酸刻液的刻蝕形成以開(kāi)孔組成的圖案。

本發(fā)明使用不銹鋼刻蝕技術(shù)用曝光基材的曝光方法形成圖案，由于曝光機(jī)的精度可到達(dá)1μ級(jí)，因而制作出的掩膜板精度很高，大大簡(jiǎn)化了制造掩模板的工序流程；用激光刻蝕形成圖案的精度雖然稍低，但也能夠滿足實(shí)際需求。

所述曝光基材為菲林或者鉻板。

所述掩膜板外框厚度為4～6mm，寬度為8～12mm；所述掩膜板外框的形狀為多邊形。

所述薄鋼片的厚度范圍是20～150μm。

所述步驟(4)中，焊接時(shí)掩膜板外框與薄鋼片的相對(duì)位置通過(guò)夾具進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，焊接點(diǎn)在掩膜板外框上均勻分布。可以使得薄鋼片不會(huì)變形，而且掩膜板外框在水平方向上受力均勻不會(huì)翹起，使用效果更好。