[發明專利]一種有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法

無效

• 申請號: 200810026445.1
• 申請日: 2008-02-25
• 公開（公告）號: CN101250685A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 柯賢軍;蘇君海;謝志生
• 申請（專利權）人: 信利半導體有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司
• 代理人: 宣國華

1、一種有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于包括以下步驟：

(1)取一張導磁薄鋼片，剪裁成所需的大小和形狀，利用不銹鋼刻蝕或者通過激光切割在薄鋼片上開孔以形成圖案，該圖案按照OLED設計要求形狀制作；

(2)將面積大于薄鋼片的絲網平鋪在刻有圖案的導磁薄鋼片上，在導磁薄鋼片的邊緣涂上拉絲網用的膠水，再去除導磁薄鋼片圖案區域的絲網，然后將固定在導磁薄鋼片邊緣上的絲網進行拉伸，導磁薄鋼片也被拉伸繃緊；

(3)取一框體，將其貼在拉伸絲網上形成網框，粘接穩固后，沿網框的外緣裁下；

(4)取另一塊導磁鋼板切割成所需的掩膜板外框，然后把掩膜板外框置于導磁薄鋼片圖案開孔區域的外圍，再將該掩膜板外框與開孔區域外圍的導磁薄鋼片連接固定在一起，割開絲網，網框脫落，最后沿掩膜板外框的外緣切去多余鋼片，完成掩膜板的制作。

2、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述不銹鋼刻蝕是指：把所需圖案制作成掩模板的曝光基材，做好備用；將所需規格的薄鋼片洗凈并雙面均勻涂抹光刻膠，然后在烘箱里按光刻膠的硬化溫度熱烘，再取出冷卻，使用上述曝光基材在曝光機里單面曝光，再用堿液顯影，便在薄鋼片上獲得所需刻蝕的圖案，最后經酸刻液的刻蝕形成以開孔組成的圖案。

3、根據權利要求2所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述曝光基材為菲林或者鉻板。

4、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述掩膜板外框厚度為4～6mm，寬度為8～12mm；所述掩膜板外框的形狀為多邊形。

5、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述導磁薄鋼片的厚度范圍是20～150μm。

6、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述步驟(4)中，焊接時掩膜板外框與薄鋼片的相對位置通過夾具進行對準，焊接點在掩膜板外框上均勻分布。

7、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述步驟(4)中，掩膜板外框和網框中導磁薄鋼片的連接形式為激光焊接或者膠水粘合。

8、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述步驟(2)中，平鋪在導磁薄鋼片上的絲網邊緣大于導磁薄鋼片邊緣8～12cm，在導磁薄鋼片的邊緣涂上寬度為4～5cm的膠水。

9、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述形成導磁薄鋼片上圖案的開孔為矩形狀開孔或者線條狀開孔。

10、根據權利要求1所述的有機電致發光顯示器掩膜板的制作方法，其特征在于：所述步驟(4)中，是用線切割或者銼刀沿掩膜板外框的外緣切去多余鋼片。