[發(fā)明專利]可縱向升降、水平旋轉(zhuǎn)的晶圓吸附及卸落裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810023653.6
• 申請日: 2008-04-14
• 公開（公告）號: CN101261284A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 董曉清;孫盤泉;戴京東;陳仲宇
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫市易控系統(tǒng)工程有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 曹祖良

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在晶圓測試時可以實現(xiàn)晶圓在縱向升降、并可在水平平面內(nèi)轉(zhuǎn)動的晶圓吸附及卸落裝置。

背景技術(shù)

在晶圓測試領(lǐng)域，目前普遍采用的測試機與測試方法是手動測試或半自動測試。手動測試為人工放置每一片晶圓，用光學(xué)顯微鏡對準(zhǔn)每個管芯后手動測試。半自動測試是人工把晶圓放置在測試臺上，再通過光學(xué)顯微鏡掃描，手動調(diào)整晶圓的角度和第一個管芯的位置。調(diào)整好后再依次測試晶圓上的每個管芯。測試完每片晶圓后人工把晶圓放回晶圓片盒內(nèi)，再取出下一個晶圓重復(fù)上述測試過程。如此人工操作大大增加了晶圓測試的時間，勢必也增加了測試成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種降低測試成本、縮短晶圓測試的時間的可縱向升降、水平旋轉(zhuǎn)的晶圓吸附及卸落裝置。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，在機架的縱向方向布置的管狀內(nèi)套頂端設(shè)置晶圓吸盤裝置，所述的內(nèi)套與升降裝置與旋轉(zhuǎn)裝置相連，該晶圓吸盤裝置包括在負(fù)壓吸盤與隔熱盤之間設(shè)置的加熱器，在負(fù)壓吸盤上表面設(shè)有若干負(fù)壓氣槽，在負(fù)壓吸盤內(nèi)設(shè)有與負(fù)壓氣槽連通的負(fù)壓氣孔，在負(fù)壓吸盤上設(shè)有負(fù)壓氣管接頭，所述的負(fù)壓氣管接頭與負(fù)壓氣孔連通，在負(fù)壓吸盤上設(shè)有貫穿負(fù)壓吸盤、加熱器與隔熱盤的卸料孔，卸料孔內(nèi)設(shè)有頂針以及頂針升降控制裝置。

所述負(fù)壓氣槽為負(fù)壓吸盤上表面開設(shè)的同心圓槽體。在負(fù)壓吸盤與加熱器之間設(shè)有熱緩沖盤。

內(nèi)套底端處外壁設(shè)有滾珠滑套，滾珠滑套外壁套有夾套，所述的夾套設(shè)于固定設(shè)置的外套內(nèi)并與外套轉(zhuǎn)動連接，縱向絲杠頂在內(nèi)套底端與其驅(qū)動裝置相連。內(nèi)套上設(shè)有橫向伸出的搖桿，搖桿的另一端與旋轉(zhuǎn)裝置相連。

在晶圓吸盤裝置下方設(shè)有聯(lián)接盤，聯(lián)接盤的下面固定設(shè)置有頂針上板和頂針下板，頂針上板和頂針下板之間滑動連接頂針中板，在頂針中板的上平面安裝固定有頂針板，頂針中板通過頂針絲杠，該頂針絲杠與其驅(qū)動裝置相連。

頂針上板上設(shè)有頂針安裝板，在頂針安裝板上固定設(shè)有插入卸料孔內(nèi)的頂針，在頂針安裝板與負(fù)壓吸盤之間的頂針外套接有復(fù)位彈簧。在加熱器與隔熱盤之間設(shè)有蓋板，晶圓吸盤裝置在負(fù)壓吸盤的下表面設(shè)有向隔熱盤伸出的下凸環(huán)，相應(yīng)地在隔熱盤上表面設(shè)有向負(fù)壓吸盤伸出的上凸環(huán)，下凸環(huán)的下端面與上凸環(huán)上端面接觸并將熱加熱器、緩沖盤與蓋板包容其內(nèi)。

本發(fā)明可以有效降低測試成本，縮短晶圓測試的時間，在測試時可實現(xiàn)縱向升降、水平旋轉(zhuǎn)。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明中的晶圓吸盤裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。

如圖所示：在機架的縱向方向布置的管狀內(nèi)套1頂端設(shè)置的晶圓吸盤裝置29，所述的內(nèi)套1與升降裝置與旋轉(zhuǎn)裝置相連，該晶圓吸盤裝置29包括在負(fù)壓吸盤35與隔熱盤36之間設(shè)置的加熱器37，在負(fù)壓吸盤35上表面設(shè)有若干負(fù)壓氣槽38，在負(fù)壓吸盤35內(nèi)設(shè)有與負(fù)壓氣槽38連通的負(fù)壓氣孔39，在負(fù)壓吸盤35上設(shè)有負(fù)壓氣管接頭40，所述的負(fù)壓氣管接頭40與負(fù)壓氣孔39連通，在負(fù)壓吸盤35上設(shè)有貫穿負(fù)壓吸盤35、加熱器37與隔熱盤36的卸料孔41，卸料孔41內(nèi)設(shè)有頂針30以及頂針升降控制裝置。

所述負(fù)壓氣槽38為負(fù)壓吸盤35上表面開設(shè)的同心圓槽體。在負(fù)壓吸盤35與加熱器37之間設(shè)有熱緩沖盤42。

內(nèi)套1底端處外壁設(shè)有滾珠滑套15，滾珠滑套15外壁套有夾套9，所述的夾套9設(shè)于固定設(shè)置的外套10內(nèi)并與外套10轉(zhuǎn)動連接，縱向絲杠17頂在內(nèi)套1底端與其驅(qū)動裝置相連。內(nèi)套1上設(shè)有橫向伸出的搖桿21，搖桿21的另一端與旋轉(zhuǎn)裝置相連。

在晶圓吸盤裝置29下方設(shè)有聯(lián)接盤28，聯(lián)接盤28的下面固定設(shè)置有頂針上板3和頂針下板7，頂針上板3和頂針下板7之間滑動連接頂針中板4，在頂針中板4的上平面安裝固定有頂針板27，頂針中板4通過頂針絲杠5，該頂針絲杠5與其驅(qū)動裝置相連。

頂針上板3上設(shè)有頂針安裝板32，在頂針安裝板32上固定設(shè)有插入卸料孔41內(nèi)的頂針30，在頂針安裝板32與負(fù)壓吸盤35之間的頂針30外套接有復(fù)位彈簧31。

在加熱器37與隔熱盤36之間設(shè)有蓋板45，晶圓吸盤裝置29在負(fù)壓吸盤35的下表面設(shè)有向隔熱盤36伸出的下凸環(huán)43，相應(yīng)地在隔熱盤36上表面設(shè)有向負(fù)壓吸盤35伸出的上凸環(huán)44，下凸環(huán)43的下端面與上凸環(huán)44上端面接觸并將熱加熱器37、緩沖盤42與蓋板45包容其內(nèi)。