[發明專利]可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置

無效

• 申請號: 200810023653.6
• 申請日: 2008-04-14
• 公開（公告）號: CN101261284A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 董曉清;孫盤泉;戴京東;陳仲宇
• 申請（專利權）人: 無錫市易控系統工程有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所
• 代理人: 曹祖良

1、一種可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：包括機架的縱向方向設置的管狀內套(1)頂端設置的晶圓吸盤裝置(29)，所述的內套(1)與升降裝置與旋轉裝置相連，該晶圓吸盤裝置(29)包括在負壓吸盤(35)與隔熱盤(36)之間設置的加熱器(37)，在負壓吸盤(35)上表面設有若干負壓氣槽(38)，在負壓吸盤(35)內設有與負壓氣槽(38)連通的負壓氣孔(39)，在負壓吸盤(35)上設有負壓氣管接頭(40)，所述的負壓氣管接頭(40)與負壓氣孔(39)連通，在負壓吸盤(35)上設有貫穿負壓吸盤(35)、加熱器(37)與隔熱盤(36)的卸料孔(41)，卸料孔(41)內設有頂針(30)以及頂針升降控制裝置。

2、如權利要求1所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：所述負壓氣槽(38)為負壓吸盤(35)上表面開設的同心圓槽體。

3、如權利要求1所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：在負壓吸盤(35)與加熱器(37)之間設有熱緩沖盤(42)。

4、如權利要求1所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：內套(1)底端處外壁設有滾珠滑套(15)，滾珠滑套(15)外壁套有夾套(9)，所述的夾套(9)設于固定設置的外套(10)內并與外套(10)轉動連接，縱向絲杠(17)頂在內套(1)底端與其驅動裝置相連。

5、如權利要求4所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：內套(1)上設有橫向伸出的搖桿(21)，搖桿(21)的另一端與旋轉裝置相連。

6、如權利要求1所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：在晶圓吸盤裝置(29)下方設有聯接盤(28)，聯接盤(28)的下面固定設置有頂針上板(3)和頂針下板(7)，頂針上板(3)和頂針下板(7)之間滑動連接頂針中板(4)，在頂針中板(4)的上平面安裝固定有頂針板(27)，頂針中板(4)通過頂針絲杠(5)，該頂針絲杠(5)與其驅動裝置相連。

7、如權利要求6所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：頂針上板(3)上設有頂針安裝板(32)，在頂針安裝板(32)上固定設有插入卸料孔(41)內的頂針(30)，在頂針安裝板(32)與負壓吸盤(35)之間的頂針(30)外套接有復位彈簧(31)。

8、如權利要求1所述的可縱向升降、水平旋轉的晶圓吸附及卸落裝置，其特征是：在加熱器(37)與隔熱盤(37)之間設有蓋板(45)，晶圓吸盤裝置(29)在負壓吸盤(35)的下表面設有向隔熱盤(36)伸出的下凸環(43)，相應地在隔熱盤(36)上表面設有向負壓吸盤(35)伸出的上凸環(44)，下凸環(43)的下端面與上凸環(44)上端面接觸并將熱加熱器(37)、緩沖盤(42)與蓋板(45)包容其內。