[發(fā)明專利]太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810018845.8
• 申請日: 2008-01-28
• 公開（公告）號: CN101221999A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬祥柱;單惠標(biāo);仝斌;許結(jié)剛
• 申請（專利權(quán)）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所
• 代理人: 王凌霄

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種太陽能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備。

背景技術(shù)

硅片在制作成太陽能電池的過程中需要經(jīng)過擴散工藝形成P-N極，經(jīng)過太陽能電池擴散工藝加工后的硅片有一個很重要的參數(shù)，這個參數(shù)就是方塊電阻，在后道燒結(jié)工序中每一個特定的方塊電阻都有一個最佳的溫度曲線與之匹配使之達(dá)到最大的電池效率。方塊電阻的波動將導(dǎo)致生產(chǎn)出來的太陽能電池效率下降大約5％。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有設(shè)備生產(chǎn)出來的硅片的方塊電阻會產(chǎn)生波動的缺陷，本發(fā)明提供一種通過提供穩(wěn)定抽氣排風(fēng)壓力來穩(wěn)定生產(chǎn)出來的硅片的方塊電阻的太陽能電池擴散設(shè)備。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種太陽能電池擴散工藝，在太陽能電池擴散工藝中通過控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道的燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機臺排風(fēng)端加裝的排風(fēng)壓力控制閥和排風(fēng)壓力控制器來進(jìn)行控制。

一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐和機臺排風(fēng)端，擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風(fēng)端排出，機臺排風(fēng)端安裝排風(fēng)壓力控制閥和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器。

進(jìn)入擴散爐的氣體和化學(xué)品由氣體流量控制器控制，因此是穩(wěn)定的。但是排風(fēng)是由廠務(wù)直接控制的，抽氣排風(fēng)壓力就是廠務(wù)排風(fēng)的壓強，由于廠務(wù)排風(fēng)連接多個機臺，所以排風(fēng)壓力不是穩(wěn)定的。一般控制的壓強范圍是1.5-5mbar。通過實驗發(fā)現(xiàn)抽氣排風(fēng)壓力對硅片的方塊電池同樣具有較大影響。

?PES(mbar)1.5?2?2.5?4?5?SR(ohm)54?53?51?50?49.5

這里SR為方塊電阻，PES為抽氣壓力排風(fēng)。

由于抽氣排風(fēng)壓力波動導(dǎo)致磷在硅片中的注入的濃度發(fā)生變化，因為方塊電阻跟磷的攙雜濃度有關(guān)。方塊電阻就會在49.5-54ohm的區(qū)間里相應(yīng)變化。

本發(fā)明的有益效果是：抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升最終太陽能電池的效率5％。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1.擴散爐，2.機臺排風(fēng)端，3.排風(fēng)壓力控制閥，4.排風(fēng)壓力控制器，5.擴充管，6.濃縮瓶。

具體實施方式

一種太陽能電池擴散工藝，在太陽能電池擴散工藝中通過控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使得的到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機臺排風(fēng)端2加裝的排風(fēng)壓力控制閥3和排風(fēng)壓力控制器4來進(jìn)行控制。

如圖1所示的一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐1和機臺排風(fēng)端2，從擴散爐1中排除的氣體經(jīng)過擴充管5(expansion?essel)和濃縮瓶6(congdensation?bottle)后從機臺排風(fēng)端2排除，機臺排風(fēng)端2安裝排風(fēng)壓力控制閥3和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器4，通過排風(fēng)壓力控制器4控制排風(fēng)壓力控制閥3使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定。進(jìn)入擴散爐1的氣體由氣體流量控制器控制，流量穩(wěn)定。氣體和POCL3在擴散爐1中和硅發(fā)生反應(yīng)，抽氣排風(fēng)壓穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度也會穩(wěn)定，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升太陽能電池的效率5％。