[發明專利]太陽能電池擴散工藝及其設備有效
| 申請號： | 200810018845.8 | 申請日： | 2008-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN101221999A | 公開（公告）日： | 2008-07-16 |
| 發明（設計）人： | 馬祥柱;單惠標;仝斌;許結剛 | 申請（專利權）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能電池 擴散 工藝 及其 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種太陽能電池擴散工藝，其特征是：在太陽能電池擴散工藝中通過控制抽氣排風壓力，使抽氣排風壓力這個參數保持穩定，抽氣排風壓力的穩定導致磷在硅片中的注入濃度穩定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩定，在后道燒結中匹配出高效的太陽能電池。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池擴散工藝，其特征是：所述的抽氣排風壓力通過在機臺排風端(2)加裝的排風壓力控制閥(3)和排風壓力控制器(4)來進行控制。
3.一種太陽能電池擴散設備，包括擴散爐(1)和機臺排風端(2)，擴散爐(1)內產生的廢氣通過管道從機臺排風端(2)排出，其特征是：所述的機臺排風端(2)安裝排風壓力控制閥(3)和相應的排風壓力控制器(4)。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
