[發明專利]雙面反射動鏡干涉儀

無效

• 申請號: 200810018352.4
• 申請日: 2008-06-02
• 公開（公告）號: CN101320126A
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發明（設計）人: 楊慶華
• 申請（專利權）人: 楊慶華
• 主分類號: G02B17/08
• 分類號: G02B17/08;G01J3/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種干涉儀，具體涉及一種應用于高分辨率傅里葉變換光譜儀的雙面反射動鏡干涉儀。

背景技術

傅里葉變換光譜儀具有高光譜分辨率、高通量、多通道等優點，影響邁克爾遜(Michelson)干涉儀在傅里葉光譜儀中應用的最大問題是平面動鏡在掃描過程中的傾斜問題。

使用貓眼鏡(cat’s-eye?retroreflector)或角反射體(cube-corner?mirrors)代替平面動鏡可以很好地解決傾斜問題，唯一的缺點是單個貓眼動鏡或單個掃描角反射體存在橫向偏移問題。另外一種辦法是使用動態校正伺服系統，但分辨率越高，這種校正系統的失靈概率就越高，而且該系統對機械振動引起的擾動非常敏感。

轉鏡式或擺鏡式干涉儀消除了平面動鏡傾斜帶來的誤差，提高了儀器的穩定性和可靠性，但其產生的光程差與轉角為非線性關系，只適用于低分辨率光譜儀。

發明內容

本發明的目的在于提供一種雙面反射動鏡干涉儀，其解決了背景技術中平面動鏡傾斜、單個掃描貓眼鏡和單個掃描角反射體橫移的技術問題，光程差為雙面反射動鏡位移(相對于其零光程差位置)的4倍，在傅里葉變換光譜儀的應用中相對于邁克爾遜干涉儀大大地提高了精度；在制造誤差和運動誤差相同的條件下，可獲得更高的儀器分辨率。

本發明的技術解決方案是：

一種雙面反射動鏡干涉儀，包括設置在入射光束光路上的一個分束器；還包括設置在上述分束器半反射面反射光束光路上的第一平面鏡和設置在上述分束器半反射面透射光束光路上的第二平面鏡；還包括設置在上述第一平面鏡反射光束光路上和第二平面鏡反射光束光路上的一個雙面反射動鏡；還包括探測器、以及將經雙面反射動鏡反射的兩束光會聚到探測器上的收集鏡；

其特征在于：

所述的雙面反射動鏡為一個兩表面均鍍反射膜的平面平行玻璃板；所述的雙面反射動鏡鍍反射膜的兩個表面、分束器半反射面三者之間相互平行；所述的雙面反射動鏡沿分束器半反射面的法線方向做直線往復運動；所述的第一平面鏡和第二平面鏡關于分束器半反射面對稱；所述的分束器、第一平面鏡、第二平面鏡的中心位于同一個平面內。

上述的雙面反射動鏡干涉儀可為：所述的分束器半反射面45度角設置在入射光束光路上，該分束器為兩塊膠合的平面平行玻璃平板，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為22.5度。

上述的雙面反射動鏡干涉儀可為：所述的分束器為兩塊膠合的直角棱鏡，直角棱鏡的斜面為膠合面，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為22.5度。

上述的雙面反射動鏡干涉儀可為：所述的分束器半反射面30度角設置在入射光束光路上，該分束器為兩塊膠合的平面平行玻璃平板，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為30度。

上述的雙面反射動鏡干涉儀可為：所述的分束器為兩塊膠合的等邊三角形棱鏡，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為30度。

上述的收集鏡為會聚透鏡或會聚透鏡組。

本發明的優點在于：

1.該干涉儀對動鏡傾斜不敏感，即雙面反射動鏡輕微的傾斜對所得干涉圖的調制度和相位影響很小。

2.光程差為雙面反射動鏡位移(相對于其零光程差位置)的4倍，適用于各種光譜區域的高分辨率光譜儀。

3.該干涉儀結構緊湊、體積小、成本低。

4.分束器為兩塊膠合的平面平行玻璃平板或兩塊膠合的直角棱鏡或兩塊膠合的等邊三角形棱鏡，從而提高了該干涉儀的機械穩定性和熱穩定性。

附圖說明

圖1為本發明結構原理示意圖(等腰直角三角形的整體結構)。

圖2為兩塊膠合的平面平行玻璃平板分光裝置(45度角設置在入射光束光路上)。

圖3為兩塊膠合的直角棱鏡分光裝置。

圖4為本發明結構原理示意圖(等邊三角形的整體結構)。

圖5為兩塊膠合的平面平行玻璃平板分光裝置(30度角設置在入射光束光路上)。

圖6為兩塊膠合的等邊三角形棱鏡分光裝置。

具體實施方式