[發明專利]雙面反射動鏡干涉儀無效
| 申請號： | 200810018352.4 | 申請日： | 2008-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN101320126A | 公開（公告）日： | 2008-12-10 |
| 發明（設計）人： | 楊慶華 | 申請（專利權）人： | 楊慶華 |
| 主分類號： | G02B17/08 | 分類號： | G02B17/08;G01J3/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710119陜西省西安*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙面 反射 干涉儀 | ||
1.一種雙面反射動鏡干涉儀，包括設置在入射光束光路上的一個分束器；還包括設置在上述分束器半反射面反射光束光路上的第一平面鏡和設置在上述分束器半反射面透射光束光路上的第二平面鏡；還包括設置在上述第一平面鏡反射光束光路上和第二平面鏡反射光束光路上的一個雙面反射動鏡；還包括探測器、以及將經雙面反射動鏡反射的兩束光會聚到探測器上的收集鏡；
其特征在于：
所述的雙面反射動鏡為一個兩表面均鍍反射膜的平面平行玻璃板；所述的雙面反射動鏡鍍反射膜的兩個表面、分束器半反射面三者之間相互平行；所述的雙面反射動鏡沿分束器半反射面的法線方向做直線往復運動；所述的第一平面鏡和第二平面鏡關于分束器半反射面對稱；所述的分束器、第一平面鏡、第二平面鏡的中心位于同一個平面內。
2.根據權利要求1所述的雙面反射動鏡干涉儀，其特征在于：所述的分束器半反射面45度角設置在入射光束光路上，該分束器為兩塊膠合的平面平行玻璃平板，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為22.5度。
3.根據權利要求1所述的雙面反射動鏡干涉儀，其特征在于：所述的分束器為兩塊膠合的直角棱鏡，直角棱鏡的斜面為膠合面，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為22.5度。
4.根據權利要求1所述的雙面反射動鏡干涉儀，其特征在于：所述的分束器半反射面30度角設置在入射光束光路上，該分束器為兩塊膠合的平面平行玻璃平板，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為30度。
5.根據權利要求1所述的雙面反射動鏡干涉儀，其特征在于：所述的分束器為兩塊膠合的等邊三角形棱鏡，膠合面的一個面為分束器半反射面；所述的第一平面鏡和第二平面鏡與分束器半反射面的夾角均為30度。
6.根據權利要求2～5任一所述的雙面反射動鏡干涉儀，其特征在于：所述的收集鏡為會聚透鏡或會聚透鏡組。
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