[發明專利]單晶銅鍵合絲的制備方法

無效

• 申請號: 200810017812.1
• 申請日: 2008-03-19
• 公開（公告）號: CN101524721A
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發明（設計）人: 丁雨田;曹軍;胡勇;許廣濟;寇生中
• 申請（專利權）人: 蘭州理工大學
• 主分類號: B21C1/00
• 分類號: B21C1/00;C22F1/08;C22B15/14;B22D27/04;C30B29/02;C30B11/00
• 代理公司: 蘭州振華專利代理有限責任公司
• 代理人: 董 斌

1、單晶銅鍵合絲的制備方法，所述的單晶銅鍵合絲的原材料為銅，其步驟為：

A、采用真空度為10^-210^-4MPa高真空爐將純度高于99.995％高純銅熔化，升溫到1100～1180℃，精煉60～120分鐘，整個熔煉過程采用純度為過于99.99％高純氬氣保護，并采用定向凝固方式拉制φ4～φ8mm單晶銅桿；

B、將拉制成的高純度單晶銅桿冷加工至φ0.95～φ1.102mm，每道次拉拔加工率為15～25％，拉拔速度控制在40～60m/min；然后分為47～70個道次，采用每道次加工率為7.59～17.82％將單晶銅桿拉制0.020～0.05mm；拉制速度為400～600m/min；0.5mm以上模具表面粗糙度Ra為0.025，0.5mm以下模具表面粗糙度Ra高于0.025；保持拉絲塔輪、導向輪、收線盤等部件高度光潔，表面粗糙度Ra高于0.025；拉絲潤滑劑采用水溶性潤滑劑，濃度為0.4～0.8％，拉絲時溫度為35～45℃；

C、將上步驟拉制成的單晶銅鍵合絲表面清洗采用超聲波清洗，清洗介質采用無水酒精，超聲波功率40～80W，頻率20～40KHz；

D、將清洗后的單晶銅鍵合絲在退火復繞設備上進行熱處理，熱處理過程中采用H₂+Ar₂保護，其熱處理溫度為410～425℃，熱處理時間為0.7～2.0s，保護氣體流量為H₂?0.3～0.6L/min、Ar₂?0.4～0.65L/min；退火復繞時的張力為0.6～2.8g；

E、將熱處理后的單晶銅鍵合絲采用真空吸塑包裝，真空度為10^-3～10^-4Mpa。