[發明專利]一種SiC纖維表面C/AlN復合梯度涂層制備方法

有效

• 申請號: 200810011416.8
• 申請日: 2008-05-15
• 公開（公告）號: CN101581036A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 肖鵬;王玉敏;雷家峰;石南林;楊銳
• 申請（專利權）人: 中國科學院金屬研究所
• 主分類號: D06M11/74
• 分類號: D06M11/74;D06M11/58;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/18;C23C16/26;C23C8/24;D06M101/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 張志偉

1.?一種SiC纖維表面C/AlN復合梯度涂層制備方法，其特征在于，按如下 步驟操作：

第一步，富碳涂層SiC纖維的制備；

第二步，將生產的SiC纖維纏繞在樣品支架上，然后放入磁控濺射儀真空室 內；

第三步，當真空室的真空度優于1.0×10^-3Pa時，轉動樣品支架，對其進行加 熱，加熱溫度在300～600℃之間，升溫速度為5～10℃/分鐘，保溫1～4小時；

第四步，保溫結束后，首先通入氬氣，使真空室的氣體分壓在5×10^-2Pa～5Pa 之間，然后通入氮氣，氣體充分混合后，氬氣和氮氣的分壓比1∶(0.5～5)；

第五步，啟動射頻反應濺射電源，靶材為鋁靶，控制靶功率在100W～500W 之間，濺射時間為0.5～3小時，濺射結束后，關閉氣路，保持真空度優于1×10^-3Pa 下，降溫至40℃以下。

2.?按照權利要求1所述的SiC纖維表面C/AlN復合梯度涂層制備方法，其 特征在于，所述第一步中，采用水銀電極加熱或射頻加熱化學氣相沉積工藝，在 SiC纖維反應管的尾部通入乙炔氣體，乙炔在900～1300℃分解，在SiC纖維的表 面沉積成0.5～5μm的富碳涂層。

3.?按照權利要求1所述的SiC纖維表面C/AlN復合梯度涂層制備方法，其 特征在于，所述第二步中，將生產的含富碳涂層SiC纖維，利用精密數控纏繞機 組，纏繞在圓形樣品支架上。

4.?按照權利要求1所述的SiC纖維表面C/AlN復合梯度涂層制備方法，其 特征在于，所述第四步中，首先通入氬氣時，真空室的氣體分壓優選范圍為 0.1Pa～0.5Pa之間；然后通入氮氣時，氣體充分混合后，氬氣和氮氣的分壓比優選 范圍為1∶(0.7～3)。

5.?按照權利要求1所述的SiC纖維表面C/AlN復合梯度涂層制備方法，其 特征在于，所述第五步中，射頻濺射的電源頻率為13.6MHz，功率匹配器的自偏 壓達到80～160V。