[發明專利]蒸發坩堝和具有合適的蒸發特性的蒸發設備

無效

• 申請號: 200810006546.2
• 申請日: 2008-03-06
• 公開（公告）號: CN101265566A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 霍爾格·澳爾巴赫
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 趙飛

技術領域

本發明一般地涉及薄膜形成設備和用于薄膜形成用蒸發設備的坩堝。具體地，本發明涉及用于蒸發合金或金屬的坩堝。特別地，本發明涉及蒸發坩堝和蒸發設備。

背景技術

蒸發器可以用于基板上的材料薄膜涂層。例如，利用金屬膜的涂層(其例如提供大面板顯示器的電容器或提供薄片上的保護層)可以利用蒸發器來施加。具體地，對于大面板顯示器，可以以大的并且相對很薄的玻璃板來提供的基板可以被垂直放置在涂層工藝中，并且用垂直蒸發器來進行涂層。

具體地對于垂直蒸發來說，將被沉積在基板上的材料蒸汽的源通常設置有垂直噴嘴管，其定義了用于涂層垂直排列的基板的線性垂直延伸的源。

由此提供的線性源具有高的復雜性，并且制造和維護很昂貴。此外，垂直延伸的噴嘴管提供朝向基板的顯著熱輻射。

此外，已經被建議用于蒸發坩堝的不同溫度區域的穩定性可能不足，因為將被蒸發的材料可能在坩堝的各個區域中遷移，還可能溶解坩堝的不同部分，從而溫度定制可能被劣化。

發明內容

根據上述情況，本發明提供了根據本發明的第一方面、第二方面和第三方面的蒸發坩堝，以及根據第四方面的蒸發設備。

根據本發明第一方面的一個實施例，提供了一種蒸發坩堝。所述蒸發坩堝包括：導電腔管，其具有形成封閉空間的壁，所述腔管具有管軸線；第一電連接；第二電連接，其中所述第一電連接和所述第二電連接適用于提供基本平行于所述管軸線的加熱電流；至少一個進料開口；以及至少一個分配孔。

根據本發明第二方面的一個實施例，提供了一種蒸發坩堝。所述蒸發坩堝包括：導電腔管，其具有形成封閉空間的壁；至少兩個分配孔或一個狹縫形的分配孔，所述至少兩個分配孔或者所述狹縫形的分配孔形成在所述腔管的所述壁中，并定義擇優方向；第一電連接；第二電連接，其中所述第一電連接和所述第二電連接適用于提供基本平行于所述擇優方向的加熱電流；以及至少一個進料開口。

根據本發明第三方面的一個實施例，提供了一種蒸發坩堝。所述蒸發坩堝包括：導電腔管，其具有壁，從而形成封閉空間，所述腔管具有管軸線；第一電連接；第二電連接；至少一個進料開口；以及至少一個分配孔，其中所述封閉空間包括熔融蒸發區域。

根據本發明第四方面的一個實施例，提供了一種包括至少一個蒸發坩鍋的蒸發設備。所述蒸發坩鍋包括：導電腔管，其具有壁，所述腔管具有管軸線；第一電連接；第二電連接，其中所述第一電連接和所述第二電連接適用于提供基本平行于所述管軸線的加熱電流；至少一個進料開口；以及至少一個所述腔的所述壁中的分配孔。

根據從屬權利要求、說明書和附圖，可以清楚了解可以與上述實施例結合的進一步的優點、特征、方面以及細節。

實施例還涉及用于完成所公開的方法的并且包括用于執行所述方法步驟的設備部件的設備。這些方法步驟可以通過硬件構件、由適當的軟件編程的計算機、通過上述兩種方式的任意組合或任何其它方式來執行。此外，實施例還涉及所述設備的操作方法或所述設備的制造方法。其包括用于實現設備的功能的方法步驟或制造設備的部件的方法步驟。

附圖說明

本發明的上述和其它更具體的方面中的一部分將在下面的描述中進行描述，參考附圖進行局部說明。

圖1示出了根據本文所述的實施例的包括電連接和腔管的蒸發坩堝的示意圖；

圖2示出了根據本文所述的實施例的包括電連接和腔管的又一蒸發坩堝的示意圖；

圖3A示出了根據本文所述的實施例的包括電連接和腔管的還又一蒸發坩堝的示意圖；

圖3B和圖3C示出了圖3A的蒸發坩堝的其它示意圖；

圖4A到圖4D示出了蒸發坩堝的示意圖，并且圖示了根據本文所述的實施例的不同的分配孔；

圖5示出了根據本文所述的實施例的包括電連接和形成腔管的若干部分的蒸發坩堝的示意圖；

圖6A到圖6C示出了根據本文所述的實施例的包括電連接、腔管和不同形狀的分配孔的蒸發坩堝的示意圖；

圖7示出了根據本文所述的實施例的包括多個蒸發坩堝的蒸發設備的示意圖；

圖8示出了根據本文所述的實施例的包括多個蒸發坩堝的又一蒸發設備的示意圖；以及

圖9A和圖9B示出了腔管部分之間的連接的示意圖。

具體實施方式