[發(fā)明專利]蒸發(fā)坩堝和具有合適的蒸發(fā)特性的蒸發(fā)設(shè)備

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810006546.2
• 申請(qǐng)日: 2008-03-06
• 公開（公告）號(hào): CN101265566A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 霍爾格·澳爾巴赫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): C23C14/26
• 分類號(hào): C23C14/26
• 代理公司: 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 趙飛

1.一種蒸發(fā)坩堝，包括：

導(dǎo)電腔管(120)，其具有形成封閉空間的壁，所述腔管具有管軸線(2)；

第一電連接(162；182)；

第二電連接(162；182)，其中所述第一電連接和所述第二電連接適用于提供基本平行于所述管軸線的加熱電流；

至少一個(gè)進(jìn)料開口(134)；以及

至少一個(gè)分配孔(170；470；670)。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)坩堝，其中，所述腔管(120)的所述壁的多個(gè)部分形成柱體，并且所述管軸線沿所述柱體的高度方向設(shè)置。

3.一種蒸發(fā)坩堝，包括：

導(dǎo)電腔管(120)，其具有形成封閉空間的壁；

至少兩個(gè)分配孔(170；470；670)或一個(gè)狹縫形的分配孔，所述至少兩個(gè)分配孔或者所述狹縫形的分配孔(170；470；670)形成在所述腔管的所述壁中，并定義擇優(yōu)方向；

第一電連接(162；182)；

第二電連接(162；182)，其中所述第一電連接和所述第二電連接適用于提供基本平行于所述擇優(yōu)方向的加熱電流；以及

至少一個(gè)進(jìn)料開口(134)。

4.如權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述封閉空間包括熔融蒸發(fā)區(qū)域。

5.如權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述進(jìn)料開口(134)位于所述腔管(120)的所述壁中。

6.如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述第一電連接(162；182)相對(duì)于所述管軸線(2)方向位于所述腔管的一側(cè)，并且所述第二電連接(162；182)相對(duì)于所述管軸線方向位于所述腔管的另一側(cè)。

7.如權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，還包括：

至少一個(gè)蓋，所述蓋與所述腔管形成封閉空間。

8.如權(quán)利要求1-2中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述至少一個(gè)分配孔(170；470；670)是所述腔管的所述壁中的鉆孔。

9.如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述至少一個(gè)分配孔是至少三個(gè)分配孔。

10.如權(quán)利要求9所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述至少三個(gè)分配孔被布置成定義了擇優(yōu)方向。

11.如權(quán)利要求10所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述擇優(yōu)方向平行于管軸線(2)和加熱電流方向中的至少之一。

12.如權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中至少一個(gè)分配孔(170；470；670)是狹縫形或圓形的。

13.如權(quán)利要求1-12中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，還包括：

至少一個(gè)其它進(jìn)料開口(134)。

14.如權(quán)利要求1-13中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述腔管(120)由若干沿所述管軸線(2)的方向一個(gè)接一個(gè)布置的管元件形成。

15.如權(quán)利要求1-14中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，還包括：

第一加熱部分，其緊鄰所述腔管設(shè)置，并且被設(shè)置在所述腔管和所述第一和第二電連接(162；182)中的一個(gè)電連接之間。

16.如權(quán)利要求15所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述加熱部分的橫截面積小于所述電連接的橫截面積。

17.如權(quán)利要求1-16中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述腔管(120)包含至少一種選自由金屬硼化物、金屬氮化物、金屬碳化物、非金屬硼化物、非金屬氮化物、非金屬碳化物、氮化物、硼化物、石墨、TiB₂、BN及其組合組成的組的材料。

18.如權(quán)利要求1-17中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述分配孔定義了蒸發(fā)軸線，并且所述蒸發(fā)軸線是基本水平的。

19.如權(quán)利要求1-18中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述分配孔定義了蒸發(fā)軸線，并且所述蒸發(fā)軸線是豎直定向的。

20.如權(quán)利要求1-19中任意一項(xiàng)所述的蒸發(fā)坩堝，其中所述分配孔定義了蒸發(fā)軸線，并且所述分配孔具有3mm-20mm的沿所述蒸發(fā)軸線的長度。