[發明專利]用于收集顆粒的單元和方法以及包括該單元的設備

無效

• 申請號: 200810003755.1
• 申請日: 2008-01-22
• 公開（公告）號: CN101308769A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 金基洙;金重鉉
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 黃啟行;穆德駿

1.一種襯底處理設備，包括：

處理室，在其內進行處理；

排出管，連接到所述處理室，以排出所述處理室內的工藝氣體；以及

收集單元，安裝在所述排出管上，以收集流過所述排出管的所述工藝氣體中的顆粒，

其中，所述收集單元包括：

捕集器，安裝在所述排出管內，所述捕集器具有所述顆粒通過其被引進入的入口和通過其排出所述顆粒的出口；以及

收集線路，連接到所述捕集器的所述出口，所述收集線路穿透所述排出管的一部分，以向著所述排出管的外部區域延伸。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述入口的直徑小于所述排出管的內直徑，而且其中，所述入口布置在所述排出管內的空間的中心區域。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述收集單元還包括安裝在所述排出管的外壁上的多個聲波發生器，而且其中，所述聲波發生器產生向著所述排出管的內部區域傳播的聲波。

4.根據權利要求3所述的設備，其中，所述聲波發生器布置成在所述排出管的截面圖上在所述聲波發生器之間具有相同距離。

5.根據權利要求4所述的設備，其中，所述排出管具有圓形截面，而且其中，所述聲波發生器布置成使得從所述圓形截面的中心點連接到相鄰的兩個聲波發生器的兩條直線之間的夾角為90°。

6.根據權利要求4所述的設備，其中，所述排出管具有矩形截面，而且其中，所述聲波發生器分別布置在所述排出管的頂板、底板、左側壁和右側壁上。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，所述收集單元還包括：儲存室，連接到所述收集線路，以儲存所述顆粒；以及排出線路，連接到所述儲存室的頂板，以排出引入所述儲存室的所述工藝氣體；而且其中，所述儲存室布置在所述排出管下面。

8.根據權利要求7所述的設備，其中，所述排出線路連接到所述排出管。

9.根據權利要求7所述的設備，其中，所述收集單元還包括：

阻擋板，向著所述儲存室的內部區域或者外部區域移動；以及

驅動器，連接到所述阻擋板，以使所述阻擋板移動，

其中，當所述阻擋板完全移動到所述儲存室內時，所述儲存室內的空間被分割為上部空間和下部空間。

10.根據權利要求9所述的設備，其中，所述儲存室具有穿透其側壁的下部以通向所述下部空間的開口，而且其中，由門關閉或者開啟所述開口。

11.根據權利要求1所述的設備，其中，所述收集單元還包括：

泵，安裝在所述收集線路上，以使所述收集線路內的所述工藝氣體移動；以及

洗滌器，安裝在所述收集線路上，用于過濾流過所述收集線路的所述工藝氣體。

12.一種收集單元，包括：

排出管，提供工藝氣體所流過的通路；

捕集器，安裝在所述排出管中，所述捕集器具有入口，所述工藝氣體中的顆粒通過該入口被引入所述捕集器；以及

收集線路，連接到所述捕集器，

其中，所述收集線路穿透所述排出管的一部分，以向著所述排出管的外部區域延伸。

13.根據權利要求12所述的收集單元，其中，所述入口的直徑小于所述排出管的內直徑，而且其中，所述入口布置在所述排出管內的空間的中心區域。

14.根據權利要求12所述的收集單元，還包括安裝在所述排出管的外壁上的多個聲波發生器，

其中，所述聲波發生器產生向著所述排出管的內部區域傳播的聲波。

15.根據權利要求14所述的收集單元，其中，所述聲波發生器布置成在所述排出管的截面圖上在所述聲波發生器之間具有相同距離。

16.根據權利要求15所述的收集單元，其中，所述排出管具有圓形截面，而且其中，所述聲波發生器布置成使得從所述圓形截面的中心點連接到相鄰兩個聲波發生器的兩條直線之間的夾角為90°。

17.根據權利要求15所述的收集單元，其中，所述排出管具有矩形截面，而且其中，所述聲波發生器分別布置在所述排出管的頂板、底板、左側壁和右側壁上。