[發(fā)明專利]復(fù)合材料焊料及其制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810001639.6 | 申請日: | 2008-01-07 |
| 公開(公告)號: | CN101480763A | 公開(公告)日: | 2009-07-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉海 | 申請(專利權(quán))人: | 三星電子株式會社;三星半導(dǎo)體(中國)研究開發(fā)有限公司 |
| 主分類號: | B23K35/22 | 分類號: | B23K35/22 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 郭鴻禧;李云霞 |
| 地址: | 韓國京畿道*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 復(fù)合材料 焊料 及其 制備 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及適用于將電子元件進行互連的焊料,具體地講,涉及一種金屬焊料基陶瓷晶須增強的復(fù)合材料焊料以及該復(fù)合材料焊料的制備方法。
背景技術(shù)
焊料互連是各級電子互連的重要方式之一,主要用于倒裝芯片(flipchip)、球柵陣列封裝(BGA)、四側(cè)引腳扁平封裝(QFP)等封裝技術(shù)。在適用于將電子元件進行互連的焊料中,錫鉛焊料以其優(yōu)異的性能和低廉的成本而成為電子互連領(lǐng)域中主要采用的焊接材料。近來,由于減少和防止環(huán)境污染的原因,無鉛焊料逐漸引起了人們的關(guān)注。目前,所開發(fā)的無鉛焊料主要包括二元合金無鉛焊料和多元合金無鉛焊料。二元合金無鉛焊料的示例為Sn-Ag、Sn-Cu、Sn-Bi、Sn-Zn、Sn-Sb等;多元合金無鉛焊料的示例為Sn-Ag-Cu、Sn-Zn-Bi、Sn-Ag-Bi-Cu、Sn-Ag-Bi-In、Sn-Ag-Bi-Cu-Ge等。
然而,由于電子設(shè)備的日益小型化和多功能化的發(fā)展趨勢需要不斷地提高電子元件的集成度,因而也需要不斷地改進焊料的性能,從而使焊料能夠經(jīng)受長時間的加熱、溫度變化、熱膨脹差異、機械振動等的影響,并防止裂紋等缺陷的產(chǎn)生和擴展,進而提高半導(dǎo)體裝置中電子互連的可靠性。
因此,開發(fā)與利用性能優(yōu)異的焊料成為人們研究的重點。
為了提高焊料的性能,可以采用優(yōu)化金屬焊料的組成、將焊料顆粒納米化和添加增強體等多種方式,其中關(guān)于添加增強體方面的研究最為豐富。例如,可以向金屬焊料中添加金屬納米顆粒,諸如Cu、Mo、Ta等納米顆粒,從而提高焊料的微觀硬度;可添加微量稀土元素,諸如Sc、La、Ce、Er、Y等,從而細(xì)化晶粒,提高焊料的潤濕性能,并提高焊料的斷裂韌性;可添加惰性材料,諸如納米多面低聚倍半硅氧烷(POSS)材料(如圖1a所示),POSS作為惰性的無機/有機混合材料可增強金屬焊料與增強體之間的相互作用,從而提高焊料的機械性能;可物理或化學(xué)地添加金屬間化合物,諸如納米Cu6Sn5材料(如圖1b所示),從而提高焊料的蠕變應(yīng)變率敏感性等性能;可以向液態(tài)金屬焊料中添加細(xì)小的鐵磁顆粒,這種細(xì)小的分散質(zhì)顆粒可提高焊料的抗變形和抗蠕變能力;可以添加陶瓷顆粒,諸如Al2O3顆粒等,從而提高焊料的機械性能;此外,還可以添加氧化鈦、氧化鋯和氮化鋁等氧化物或氮化物顆粒,以提高焊料的微觀硬度。
雖然這些增強體可以起到分擔(dān)基體所承受的載荷、增加基體中的位錯等作用,從而提高焊料承受熱疲勞和機械沖擊的能力,但是目前研究的這些增強體仍然具有多方面的缺點。例如,微量元素的添加對焊料性能的提高非常有限,金屬間化合物常常由于回流過程中與基體的反應(yīng)而導(dǎo)致互連強度降低,而氧化鋁等顆粒則會在回流過程中存在團聚問題,并影響焊料與焊盤的潤濕性能等。
因此,仍然需要對焊料的增強體進行不斷的探索和研究。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種復(fù)合材料焊料,該復(fù)合材料焊料具有較高的抵抗蠕變和抵抗裂紋擴展的能力。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種復(fù)合材料焊料的制備方法,以制備能夠有效地提高焊料抵抗蠕變和抵抗裂紋擴展的能力的復(fù)合材料焊料。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種電子組件,以提高電子組件的可靠性。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種電子元件的連接方法,以提高電子互連的可靠性。
為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明提供了一種復(fù)合材料焊料,該復(fù)合材料焊料包含作為基體的金屬焊料和作為增強體的SiC晶須,其中金屬焊料可以為含鉛金屬焊料或無鉛金屬焊料,SiC晶須所占的體積百分比可以為0.1%-30%,直徑可以為0.5-1微米,長徑比可以為20:1至40:1。
為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明還提供了一種復(fù)合材料焊料的制備方法,包括:(a)將作為基體的金屬焊料與作為增強體的SiC晶須進行混合,得到混合物;(b)使上述混合物成型,得到復(fù)合材料焊料。其中金屬焊料可以為含鉛金屬焊料或無鉛金屬焊料,SiC晶須所占的體積百分比可以為0.1%-30%,直徑可以為0.5-1微米,長徑比可以為20:1至40:1。該制備方法可以采用攪拌鑄造、粉末冶金、擠壓鑄造或噴射沉積方式中的一種。
為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明還提供了一種電子組件,該電子組件由至少兩個電子元件連接組成,所述連接采用如上所述的復(fù)合材料焊料。其中所述至少兩個電子元件包含有源器件和無源器件中的至少一種。
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