[發(fā)明專(zhuān)利]濺射用靶裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810000046.8
• 申請(qǐng)日: 2008-01-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101220460A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹漢鎬;趙祐奭;金眩秀;金仁燮;崔成龍;崔智雄;樸喆基;樸炯律
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三星康寧株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 陸弋;朱登河

1.一種濺射用靶裝置，相對(duì)大面積對(duì)象物的行進(jìn)方向而配置在寬度方向上，其特征在于，包括：

背板，含有中央表面以及在所述中央表面的兩側(cè)以降低規(guī)定的級(jí)差而形成的至少一個(gè)臺(tái)階表面；

基準(zhǔn)靶材，安裝在所述背板的中央表面上；和

加強(qiáng)靶材，安裝在所述背板的臺(tái)階表面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射用靶裝置，其特征在于，

所述基準(zhǔn)靶材和所述加強(qiáng)靶材由同一材質(zhì)形成，以所述背板的中央為中心呈左右對(duì)稱(chēng)地安裝。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射用靶裝置，其特征在于，

所述基準(zhǔn)靶材和所述加強(qiáng)靶材由同一材質(zhì)形成，各自的寬度W_n至少為5mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射用靶裝置，其特征在于，

所述基準(zhǔn)靶材和所述加強(qiáng)靶材露出的表面形成實(shí)質(zhì)上同一的平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濺射用靶裝置，其特征在于，

在所述基準(zhǔn)靶材和所述加強(qiáng)靶材露出的表面之中，相鄰表面間的級(jí)差維持在1mm以?xún)?nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射用靶裝置，其特征在于，

從所述背板的所述中央表面的兩側(cè)形成有多個(gè)臺(tái)階表面，所述臺(tái)階表面以互不相同的高度形成。

7.一種濺射用靶裝置，相對(duì)大面積對(duì)象物的行進(jìn)方向而配置在寬度方向上，其特征在于，

包括：背板，含有中央表面、在所述中央表面的兩側(cè)低于所述中央表面而形成的第1臺(tái)階表面和在所述第1臺(tái)階表面的兩端低于所述第1臺(tái)階表面而形成的第2臺(tái)階表面；基準(zhǔn)靶材，安裝在所述中央表面上；第1加強(qiáng)靶材，安裝在所述第1臺(tái)階表面上；和第2加強(qiáng)靶材，安裝在所述第2臺(tái)階表面上，

所述基準(zhǔn)靶材、所述第1加強(qiáng)靶材和所述第2加強(qiáng)靶材露出的表面形成實(shí)質(zhì)上同一的平面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濺射用靶裝置，其特征在于，

所述第1加強(qiáng)靶材和第2加強(qiáng)靶材露出的表面間的級(jí)差維持在1mm以?xún)?nèi)。