[發(fā)明專利]多層布線基板以及半導(dǎo)體裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200780100356.0 | 申請(qǐng)日: | 2007-09-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101785373A | 公開(公告)日: | 2010-07-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 近藤正芳;加藤正明;中馬敏秋;小宮谷壽郎;飯?zhí)锫【?/a>;兼政賢一 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 住友電木株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H05K3/46 | 分類號(hào): | H05K3/46 |
| 代理公司: | 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人: | 菅興成;吳小瑛 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 多層 布線 以及 半導(dǎo)體 裝置 | ||
1.一種多層布線基板,其特征在于,具有剛性部和撓性部,
所述剛性部具有第一基材和剛性比所述第一基材高的第二基材,所述第 一基材具有第一絕緣層和第一導(dǎo)體層并具有撓性,所述第二基材與第一基材 的至少一個(gè)面接合,并具有第二絕緣層和第二導(dǎo)體層,
所述撓性部由從所述剛性部連續(xù)延長(zhǎng)的所述第一基材構(gòu)成,
所述第二絕緣層在20℃以上且第二絕緣層的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度Tg2℃以下 根據(jù)JIS?C?6481通過熱機(jī)械分析測(cè)定的面方向的熱膨脹系數(shù)是13ppm/℃以 下,并且,在20℃~所述Tg2℃下根據(jù)JIS?C?6481通過熱機(jī)械分析測(cè)定的厚 度方向的熱膨脹系數(shù)是20ppm/℃以下,所述第二絕緣層的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度 Tg2℃是根據(jù)JIS?C?6481采用動(dòng)態(tài)粘彈性裝置測(cè)定的溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,所述第二絕緣層的所述 Tg2℃是200~280℃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,在所述剛性部中,所述 第一基材的兩面分別具有所述第二基材。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,所述剛性部具有1~4層 的所述第一絕緣層,并具有2~10層的所述第二絕緣層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,將所述第一基材的平均 厚度設(shè)為Xμm,將所述第二基材的平均厚度設(shè)為Yμm時(shí),1.5≤Y/X≤10。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,將所述第二基材的平均 厚度設(shè)為Yμm,將所述第二基材的通過動(dòng)態(tài)粘彈性測(cè)定得到的260℃下的拉 伸彈性模量設(shè)為Z?GPa時(shí),530≤Y·Z≤4300。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,所述第二絕緣層主要由 纖維狀的芯材、樹脂材料和無機(jī)填充材料構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層布線基板,其中,所述樹脂材料含有氰酸 酯樹脂和環(huán)氧樹脂,將所述樹脂材料中的所述氰酸酯樹脂的含有率設(shè)為A? wt%,將所述樹脂材料中的所述環(huán)氧樹脂的含有率設(shè)為B?wt%時(shí), 0.1≤B/A≤1.0。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層布線基板,其中,所述樹脂材料含有氰酸 酯樹脂和酚醛樹脂,將所述樹脂材料中的所述氰酸酯樹脂的含有率設(shè)為A? wt%,將所述樹脂材料中的所述酚醛樹脂的含有率設(shè)為C?wt%時(shí), 0.1≤C/A≤1.0。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層布線基板,其中,所述芯材主要由玻璃 纖維構(gòu)成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層布線基板,其中,所述第二絕緣層具有 在厚度方向上貫通所述第二絕緣層的貫通孔和形成于所述貫通孔內(nèi)的導(dǎo)體 柱,所述第一導(dǎo)體層和所述第二導(dǎo)體層通過所述導(dǎo)體柱導(dǎo)通。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多層布線基板,其中,所述導(dǎo)體柱具有突起 狀端子和金屬被覆層,所述突起狀端子的一端與第二導(dǎo)體層電連接而另一端 從第二絕緣層突出,所述金屬被覆層覆蓋所述突起狀端子的另一端并與所述 第一導(dǎo)體層電連接。
13.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,具有權(quán)利要求1所述的多層布線基 板和半導(dǎo)體元件,所述半導(dǎo)體元件與所述多層布線基板的所述第二導(dǎo)體層的 規(guī)定部位電連接。
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