[發明專利]用于傳輸半導體設備的工具

有效

• 申請號: 200780052556.3
• 申請日: 2007-04-20
• 公開（公告）號: CN101652850A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 柳弘俊;張元鎭
• 申請（專利權）人: 宰體有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司
• 代理人: 謝順星

技術領域

本發明涉及一種傳輸工具，而且更具體地，涉及一種用于傳輸能夠拾取待傳輸物體的半導體設備(例如用于傳輸的半導體設備)的工具。

背景技術

通常地，經歷封裝過程的半導體設備必須要經歷如電氣特性試驗和老化測試的各種試驗來測試抗外熱的可靠性。根據所述測試的結果，將所述半導體設備分揀為好的和壞的。為了測試或分揀過程，將所述半導體設備加載到每個托盤和/或托板上，而且順序傳輸所述托盤。

拾取加載到每個托盤和/或托板上的半導體設備，以通過傳輸工具傳輸到測試裝置的如托座、托盤或托板等上，從而用于測試或分揀。

傳統的用于傳輸的工具包括支撐托架，以及一個或多個安裝在所述支撐托架上的拾取器，和位于其端部的吸頭，所述吸頭用于通過形成真空壓力吸取半導體設備的上表面。

所述拾取器在一行內的數量配置為兩個、四個，八個等，因而一次性傳輸多個半導體設備。

然而，用于半導體設備的測試或分揀裝置，具有安裝于其上、用于傳輸的工具，所述裝置根據待傳輸半導體設備的數量具有不同的測試或分揀速度。因此，所述用于傳輸的工具必須被配置為傳輸盡可能多的半導體設備。

發明內容

技術問題

因此，本發明的一個目的是提供一種能夠通過提供布置于多行的拾取器來一次傳輸多個半導體設備的用于傳輸半導體設備的工具。

本發明的另一目的是提供一種能夠在水平方向和垂直方向中的至少一個方向上控制排列于多行的拾取器之間的間隔的用于傳輸半導體設備的工具。

技術方案

為了達到這些目的，提供一種用于傳輸半導體設備的工具，包括：可移動地安裝在傳輸工具導引件上的支撐托架；以及安裝于所述支撐托架上的多行拾取器，用于拾取半導體設備；

其中，所述支撐托架包括安裝于所述傳輸工具導引件上的第一支撐托架；以及多個連接于所述第一支撐托架，且具有安裝在一行、其間具有間隔的所述拾取器的第二支撐托架；

此外，所述用于傳輸半導體設備的工具還可以包括垂直間隔控制器，用于通過使所述多個第二支撐托架彼此沿不同方向移動，使得所述拾取器之間的垂直距離能夠得以控制。

所述第二支撐托架具有安裝在一行、其間具有間隔的所述拾取器，而且還可以設置有用于控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。

所述水平間隔控制器可以包括所述拾取器分別連接于其上的多個支撐構件；以及具有用于將所述支撐構件連接于彼此從而控制所述支撐構件之間間隔的連接結構的連接單元。

所述水平間隔控制器可以包括所述拾取器分別連接于其上的多個支撐構件；分別連接到所述支撐構件的多個連接銷；以及具有用于插入所述多個連接銷的多個溝槽的驅動板，其用于通過在上下方向移動所述支撐構件來控制所述支撐構件之間的間隔。

所述第二支撐托架在數量上配置為一對。所述垂直間隔控制器可以包括間隔控制軸，其螺紋連接到所述第二支撐托架上使得所述第二支撐托架可以在旋轉時沿不同方向移動；以及安裝在所述第一支撐托?架上的驅動單元，用于旋轉所述間隔控制軸。

所述垂直間隔控制器可以包括分別安裝于所述第二支撐托架上的導引構件；可旋轉地安裝于所述第一支撐托架上的凸輪構件，而且具有用于分別插入所述導引構件的導引凹槽，用于通過控制所述導引構件之間的間隔來控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于旋轉所述凸輪構件的旋轉驅動單元。

所述垂直間隔控制器可以包括拉力構件，其安裝為使得所述第二支撐托架可以通過拉力彼此連接；可旋轉地安裝于所述第一支撐托架的凸輪構件，用于通過旋轉控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于旋轉所述凸輪構件的旋轉驅動單元。

所述垂直間隔控制器可以包括拉力構件，其安裝為使得所述第二支撐托架可以通過拉力彼此連接；以及插入到所述第二支撐托架之間的插入構件，用于控制所述第二支撐托架之間的間隔。

所述拾取器可以安裝在彼此相鄰的所述第二支撐托架的相向表面上。

有益效果

在根據本發明的用于傳輸半導體設備的工具中，由于拾取器布置為多排，可以一次傳輸盡可能多的半導體設備。

在根據本發明的用于傳輸半導體設備的工具中，由于所述半導體設備以多排傳輸，所傳輸的相同數量的半導體設備的整個長度可以縮短。

在根據本發明的用于傳輸半導體設備的工具中，由于所述半導體設備以多排傳輸，可以通過自覺檢眼器拍照的半導體設備的數量可以增加，所述自覺檢眼器用于通過為半導體設備的每個表面拍照來測試多個半導體設備。