[發明專利]用于傳輸半導體設備的工具

有效

• 申請號: 200780052556.3
• 申請日: 2007-04-20
• 公開（公告）號: CN101652850A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 柳弘俊;張元鎭
• 申請（專利權）人: 宰體有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司
• 代理人: 謝順星

1.一種用于傳輸半導體設備的工具，包括：

可移動地安裝于傳輸工具導引件上的支撐托架；以及

呈多排安裝于所述支撐托架上的拾取器，用于拾取半導體設備；

其中，所述支撐托架包括：可移動地安裝于所述傳輸工具導引件上的第一支撐托架；和多個連接于所述第一支撐托架的第二支撐托架，所述第二支撐托架具有安裝于一排、其間具有間隔的所述拾取器；

此外，所述用于傳輸半導體設備的工具還包括垂直間隔控制器，用于通過使所述多個第二支撐托架彼此沿不同方向移動，來控制所述第二支撐托架之間的間隔，以使得所述拾取器之間的垂直間隔得以控制。

2.如權利要求1所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述第二支撐托架具有其間有一定間隔安裝的所述拾取器，而且還設置有用于控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。

3.如權利要求2所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述水平間隔控制器包括：所述拾取器分別連接于其上的多個支撐構件；以及具有用于將所述支撐構件連接于彼此，以便控制所述支撐構件之間間隔的連接結構的連接單元。

4.如權利要求2所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述水平間隔控制器包括：所述拾取器分別連接于其上的多個支撐構件；分別連接于所述支撐構件的多個連接銷釘；以及具有用于插入所述多個連接銷釘的多個凹槽、且被配置為通過在上、下方向移動而控制所述支撐構件之間間隔的驅動板。

5.如權利要求1所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述第二支撐托架在數量上被配置為一對，

其中，所述垂直間隔控制器包括：間隔控制軸，其螺紋連接于所述第二支撐托架，以使得所述第二支撐托架能夠在轉動時沿不同方向移動；以及安裝于所述第一支撐托架上的驅動單元，用于轉動所述間隔控制軸。

6.如權利要求1所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述垂直間隔控制器包括：分別安裝于所述第二支撐托架上的導引構件；可旋轉地安裝于所述第一支撐托架上的凸輪構件，所述凸輪構件具有用于分別插入所述導引構件的導引凹槽，用于通過控制所述導引構件之間的間隔來控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于旋轉所述凸輪構件的旋轉驅動單元。

7.如權利要求1所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述垂直間隔控制器包括：用于提供拉力的拉力構件，其安裝為使得所述第二支撐托架能夠彼此連接；可旋轉地安裝于所述第一支撐構架上的凸輪構件，用于通過旋轉控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于轉動所述凸輪構件的旋轉驅動單元。

8.如權利要求1所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述垂直間隔控制器包括：用于提供拉力的拉力構件，其安裝為使得所述第二支撐托架能夠彼此連接；以及插入所述第二支撐托架之間的插入構件，用于控制所述第二支撐托架之間的間隔。

9.如權利要求1所述的用于傳輸半導體設備的工具，其中，所述拾取器安裝于彼此相鄰的所述第二支撐托架的相向表面上。