[發(fā)明專利]用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780052556.3
• 申請日: 2007-04-20
• 公開（公告）號: CN101652850A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柳弘俊;張元鎭
• 申請（專利權(quán)）人: 宰體有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 謝順星

1.一種用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，包括：

可移動地安裝于傳輸工具導(dǎo)引件上的支撐托架；以及

呈多排安裝于所述支撐托架上的拾取器，用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備；

其中，所述支撐托架包括：可移動地安裝于所述傳輸工具導(dǎo)引件上的第一支撐托架；和多個連接于所述第一支撐托架的第二支撐托架，所述第二支撐托架具有安裝于一排、其間具有間隔的所述拾取器；

此外，所述用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具還包括垂直間隔控制器，用于通過使所述多個第二支撐托架彼此沿不同方向移動，來控制所述第二支撐托架之間的間隔，以使得所述拾取器之間的垂直間隔得以控制。

2.如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述第二支撐托架具有其間有一定間隔安裝的所述拾取器，而且還設(shè)置有用于控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。

3.如權(quán)利要求2所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述水平間隔控制器包括：所述拾取器分別連接于其上的多個支撐構(gòu)件；以及具有用于將所述支撐構(gòu)件連接于彼此，以便控制所述支撐構(gòu)件之間間隔的連接結(jié)構(gòu)的連接單元。

4.如權(quán)利要求2所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述水平間隔控制器包括：所述拾取器分別連接于其上的多個支撐構(gòu)件；分別連接于所述支撐構(gòu)件的多個連接銷釘；以及具有用于插入所述多個連接銷釘?shù)亩鄠€凹槽、且被配置為通過在上、下方向移動而控制所述支撐構(gòu)件之間間隔的驅(qū)動板。

5.如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述第二支撐托架在數(shù)量上被配置為一對，

其中，所述垂直間隔控制器包括：間隔控制軸，其螺紋連接于所述第二支撐托架，以使得所述第二支撐托架能夠在轉(zhuǎn)動時沿不同方向移動；以及安裝于所述第一支撐托架上的驅(qū)動單元，用于轉(zhuǎn)動所述間隔控制軸。

6.如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述垂直間隔控制器包括：分別安裝于所述第二支撐托架上的導(dǎo)引構(gòu)件；可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐托架上的凸輪構(gòu)件，所述凸輪構(gòu)件具有用于分別插入所述導(dǎo)引構(gòu)件的導(dǎo)引凹槽，用于通過控制所述導(dǎo)引構(gòu)件之間的間隔來控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于旋轉(zhuǎn)所述凸輪構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元。

7.如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述垂直間隔控制器包括：用于提供拉力的拉力構(gòu)件，其安裝為使得所述第二支撐托架能夠彼此連接；可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐構(gòu)架上的凸輪構(gòu)件，用于通過旋轉(zhuǎn)控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于轉(zhuǎn)動所述凸輪構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元。

8.如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述垂直間隔控制器包括：用于提供拉力的拉力構(gòu)件，其安裝為使得所述第二支撐托架能夠彼此連接；以及插入所述第二支撐托架之間的插入構(gòu)件，用于控制所述第二支撐托架之間的間隔。

9.如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述拾取器安裝于彼此相鄰的所述第二支撐托架的相向表面上。