[發(fā)明專利]平表面的空氣支承組件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780042666.1
• 申請日: 2007-11-14
• 公開（公告）號: CN101541653A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發(fā)明（設計）人: D·E·布拉克利;D·L·德魯門;P·J·姆卡蒂
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;H01L21/683
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 顧峻峰

技術領域

本發(fā)明涉及空氣支承組件，具體來說，涉及用于平基底處理和測量的空氣 支承組件。

背景技術

諸如玻璃基底那樣的平基底可能在切割或任何其它處理之后被檢查以發(fā)現 可能影響空氣支承組件上基底質量的應力變形。空氣支承組件通常是具有平的 上表面的單塊花崗巖。該花崗巖通常很厚以確保獲得實心、穩(wěn)定和平坦的平臺。 一般地，希望在基底和空氣支承組件的上表面之間施加空氣壓力(或其它流體) 或形成真空壓力。由遍布整個空氣支承表面組件設置的空氣孔和真空孔的組合 來輸送真空壓力和空氣壓力。真空壓力和空氣壓力用來固定基底(例如，為試 驗目的)或使基底在空氣支承組件上方的規(guī)定飛起高度上懸浮，以便可進行操 作和檢查。

空氣壓力和真空壓力分別通過空氣孔和真空孔施加到基底上。空氣孔和真 空孔遍布整個空氣支承組件地布置，以確保合適的飛行高度并保持基底的平面 度。沒有真空孔的話，空氣壓力會更加可能形成在基底中心處，因為通過空氣 孔提供的空氣不容易從基底和空氣支承組件之間逃逸。相比之下，空氣更容易 越過基底邊緣來逃逸。在基底中心形成的空氣壓力致使基底彎曲和變形。通過 真空孔提供的真空壓力有助于防止過度空氣壓力形成在基底中心。因此，通過 空氣孔和真空孔在基底的整個表面上保持均勻的壓力，可控制基底的平面度。

一般地，空氣孔和真空孔延伸通過也很厚的空氣支承組件的全部厚度。遺 憾的是，鉆透整個組件的空氣孔和真空孔減弱了空氣支承組件的整體結構完整 性。此外，穿過諸如花崗巖那樣堅硬物質鉆出小直徑的孔極其困難。在鉆這樣 的孔所遇到的諸多問題中，特別是有可能孔不是沿合適的軸向方向延伸(諸如 垂直于花崗巖的平的上表面)，孔的橫截面形狀不合適(例如，不是圓形而呈 橢圓形)，或用來鉆孔的鉆頭損壞。由于空氣支承組件的整體結構完整性對于 維持組件穩(wěn)定、平的上表面很重要(例如，操作和處理基底)，所以傳統(tǒng)的表 面組件不能達到完全的滿意。

因此，本技術領域內需要一種空氣支承組件，其允許單獨的空氣管線和真 空管線安裝在組件內，而不必鉆透組件的整個厚度。

發(fā)明內容

本文描述一種平表面的空氣支承組件以及組裝該空氣支承組件的方法。該 空氣支承組件包括上部、下部和多個間隔件，上部具有支承基底的基本上平的 頂表面，下部用來提供剛度和對上部的支承，間隔件位于上部和下部之間，使 上部和下部保持間隔開的關系。間隔件允許單獨的空氣管線和真空管線放置在 上部和下部之間。這些空氣和真空管線用來控制空氣支承組件上部的頂表面上 的空氣床。

該方法描述了如何組裝空氣床組件。一旦組裝之后，整個空氣支承組件提 供與單塊式空氣支承組件相同的剛度，同時允許空氣供應達到上部的上表面。 多塊式基部組件允許在花崗巖或類似材料的較薄的上部內有多個小直徑孔，并 提供合適的剛度來達到基部組件上表面上的低允差的平面度。

從以下結合附圖的描述中，本技術領域內的技術人員將會明白本發(fā)明其它 方面、特征和優(yōu)點。

附圖說明

為了說明的目的，圖中示出了目前較佳的各種形式，然而，應該理解到， 本發(fā)明不局限于所示的具體結構和手段。

圖1是根據本發(fā)明一個或多個實施例的具有多個穿過空氣支承組件上部的 孔的空氣支承組件分解的立體圖；

圖2是圖1空氣支承組件的組裝圖；

圖3是圖1空氣支承組件的上部的底表面的平面圖；

圖4是圖1所示空氣支承組件的上部的頂表面的平面圖；

圖5是圖1所示空氣支承組件的剖視圖；以及

圖6是組裝圖1所示空氣支承組件的方法的流程圖。在該流程圖中，附圖 標記具有如下含義：601：開始；600：提供空氣支承組件的下部和上部；602： 穿過上部鉆孔，其密度足夠高以實現空氣支承功能，但密度也足夠低以允許無 干擾地布置間隔件；604：將間隔件附連到上部而不與孔干擾并確保間隔件的 布置仍能保持上部的平面度；606：將空氣供給導管和真空導管布線成從上部 周緣越過間隔件到達孔；608：倒置上部并將其安置在下部上；610：結束。

具體實施方式

參照附圖，其中，相同的附圖標記表示相同的元件，圖1-5從不同視點示 出空氣支承組件100。