[發(fā)明專利]平表面的空氣支承組件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780042666.1
• 申請日: 2007-11-14
• 公開（公告）號: CN101541653A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發(fā)明（設計）人: D·E·布拉克利;D·L·德魯門;P·J·姆卡蒂
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;H01L21/683
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 顧峻峰

1.一種空氣支承組件，包括：

上部，所述上部具有平的頂表面和與所述頂表面相對的底表面，以及多 個穿過所述上部的空氣供給/真空孔；

下部；

多個聯(lián)接到所述空氣供給/真空孔的空氣供給/真空管線,以便向所述上 部的頂表面提供空氣壓力和真空；以及

多個間隔件，所述間隔件設置在所述上部和下部之間，并使所述上部和 下部保持間隔開的關系，

其中，所述空氣供給/真空孔的密度提供使基底飛到所述上部的頂表面上 方的空氣支承，并且所述空氣供給/真空孔的密度使放置在所述上部的底表面上 的間隔件在所述上部安置在所述下部上時使所述上部相對于所述下部保持均 勻的平面度而不干擾所述孔。

2.如權利要求1所述的空氣支承組件，其特征在于，所述孔的布置和密度 使所述多個間隔件以均勻的陣列設置。

3.如權利要求1所述的空氣支承組件，其特征在于，所述孔的布置和密度 使所述間隔件的表面面積共同地支承所述上部并使所述上部相對于所述下部 保持所述均勻的平面度。

4.如權利要求3所述的空氣支承組件，其特征在于，每個間隔件接觸所述 上部或下部的表面面積是25至125平方英寸。

5.如權利要求3所述的空氣支承組件，其特征在于，每個間隔件的形狀為 圓柱形，直徑為3至6英寸。

6.如權利要求3所述的空氣支承組件，其特征在于，每個孔直徑為0.030 至0.75英寸。

7.如權利要求1所述的空氣支承組件，其特征在于，所述間隔件的布置和 密度以及所述孔的布置和密度使所述多個空氣供給/真空管線布線成來自所述 孔以及介于所述上部、所述下部和所述間隔件之間。

8.如權利要求1所述的空氣支承組件，其特征在于，所述上部和下部由花 崗巖形成。

9.如權利要求8所述的空氣支承組件，其特征在于，所述上部比所述下部 薄。

10.如權利要求9所述的空氣支承組件，其特征在于，所述上部的厚度為4 至18英寸，所述下部的厚度為20至36英寸。

11.如權利要求1所述的空氣支承組件，其特征在于，所述上部的平面度為 50微米或小于50微米。

12.如權利要求1所述的空氣支承組件，其特征在于，所述下部包括多個單 獨的部分，所述單獨的部分聯(lián)接在一起而形成所述下部。