[發明專利]突起高度的測量方法以及突起高度的測量裝置和程序

有效

• 申請號: 200780033896.1
• 申請日: 2007-09-07
• 公開（公告）號: CN101517354A
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 林謙太
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 岳雪蘭

1.一種突起高度的測量方法，用于測量形成在工件表面上的圓錐形狀突起的高度，其特征在于，包括如下工序：

攝像工序，從仰角方向拍攝包含作為測量對象的所述突起的所述工件表面上的區域；

突起區域抽取工序，基于通過所述攝像工序拍攝的圖像中的亮度值，通過將所述圖像中的區域分為亮部區域、暗部區域以及中間部區域，并將所述亮部區域、所述暗部區域和所述中間部區域中，由所述亮部區域和所述暗部區域構成的區域作為對應于所述突起的突起區域，將由所述中間部區域構成的區域作為對應于所述工件的工件區域，從而從所述圖像中抽取出所述突起區域；

直徑母線測量工序，對與通過所述突起區域抽取工序抽取出的所述突起區域的底面直徑部分相對應的直徑對應部的長度，和與所述突起區域的母線部分相對應的母線對應部的長度進行測量；

存儲工序，預先存儲所述直徑對應部的規定值；

判斷工序，對通過所述直徑母線測量工序所測量出的直徑對應部的長度相對于所述存儲的直徑對應部的規定值，是否在預先設定的范圍內進行判斷；

確定工序，當通過所述判斷工序判斷出所述測量出的直徑對應部的長度不在所述預先設定的范圍內時，則將所述存儲的直徑對應部的規定值確定為用于計算所述突起高度時的運算值；

高度運算工序，基于通過所述確定工序確定的運算值、所述母線對應部的長度和所述仰角來計算所述突起的高度。

2.如權利要求1所述的突起高度的測量方法，其特征在于，所述確定工序中，當通過所述判斷工序判斷出所述測量出的直徑對應部的長度在所述預先設定的范圍內時，則將所述測量出的直徑對應部的長度確定為用于計算所述突起高度時的運算值。

3.一種突起高度的測量裝置，用于測量形成在工件表面上的圓錐形狀突起的高度，其特征在于，包括如下單元：

攝像單元，從仰角方向拍攝包含作為測量對象的所述突起的所述工件表面上的區域；

突起區域抽取單元，基于通過所述攝像單元拍攝的圖像中的亮度值，通過將所述圖像中的區域分為亮部區域、暗部區域以及中間部區域，并將所述亮部區域、所述暗部區域和所述中間部區域中，由所述亮部區域和所述暗部區域構成的區域作為對應于所述突起的突起區域，將由所述中間部區域構成的區域作為對應于所述工件的工件區域，從而從所述圖像中抽取出所述突起區域；

直徑母線測量單元，對與通過所述突起區域抽取單元抽取出的所述突起區域的底面直徑部分相對應的直徑對應部的長度，和與所述突起區域的母線部分相對應的母線對應部的長度進行測量；

存儲單元，預先存儲所述直徑對應部的規定值；

判斷單元，對通過所述直徑母線測量單元所測量出的直徑對應部的長度相對于存儲在所述存儲單元中的直徑對應部的規定值，是否在預先設定的范圍內進行判斷；

確定單元，當通過所述判斷單元判斷出所述測量出的直徑對應部的長度不在所述預先設定的范圍內時，則將存儲在所述存儲單元中的直徑對應部的規定值確定為用于計算所述突起高度時的運算值；

高度運算單元，基于通過所述確定單元確定的運算值、所述母線對應部的長度和所述仰角來計算所述突起的高度。

4.如權利要求3所述的突起高度的測量裝置，其特征在于，所述確定單元中，當通過所述判斷單元判斷出所述測量出的直徑對應部的長度在所述預先設定的范圍內時，則將所述測量出的直徑對應部的長度確定為用于計算所述突起高度時的運算值。