[發(fā)明專利]樹脂膜形成方法及樹脂膜形成裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780032160.2
• 申請日: 2007-08-22
• 公開（公告）號: CN101512648A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發(fā)明（設計）人: 小澤直人;鈴木隆之
• 申請（專利權）人: 歐利生電氣株式會社
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發(fā)明涉及一種適合于在光盤等的基板和基板之間形成均勻膜厚的粘接劑層、或者在該基板上形成均勻膜厚的樹脂膜的樹脂膜形成方法及樹脂膜形成裝置。

背景技術

一般情況下，光盤(第二代光盤)基本上是以下結構：例如，在厚度為1.1mm左右的透明樹脂基板上形成1層或2層記錄層并將其用透明的樹脂膜保護起來的結構；或者用透明的粘接性樹脂膜粘合2張厚度為0.6mm左右的透明樹脂基板的結構。在該情況下，有時僅在上述透明樹脂基板中的一張基板上形成信號記錄層，或者有時在兩張基板上形成信號記錄層，而且，有兩張基板的厚度相等的情況，或者也有將較薄的透明片作為透光保護層的情況。再有，也有通過粘接劑將2張上述那樣的粘合結構的基板粘合起來而形成層疊了4張基板的結構的光盤等。這些結構被用于單寫多讀型的高記錄密度的光盤或單寫多讀型的DVD，或者再生專用的高記錄密度的光盤或再生專用的DVD，或者可擦重寫型的光盤等的各種各樣的光盤。另外，作為其它的結構，也有通過粘接劑粘合多張透明玻璃或透鏡那樣的基板的情況等。

若是上述情況下的光盤，通常進行如下工序：通過粘接劑將2張基板疊合后，用旋轉涂敷法使其高速旋轉，從而使粘接劑在基板間均勻延展并甩掉多余的粘接劑，在此后的固化工序中從基板的一側或兩側照射紫外線光，使粘接劑在短時間內固化。該紫外線光的照射通過使用UV燈在規(guī)定時間連續(xù)照射紫外?線光或者使用氙燈脈沖式照射紫外線光來進行。作為該紫外線光的其它照射方法，提出有在通過高速旋轉在基板的整面上形成涂膜之后，一邊使基板低速旋轉一邊從內側依次向外周方向照射小照射面積的紫外線點光，使形成在基板整面上的涂膜從內側起依次固化的方法(例如，參照專利文獻1)。

另外，作為與該方法同樣的其它照射方法，相對于專利文獻1所記載的點光的方法，有一邊用旋轉涂敷法使液狀的樹脂在基板上延展一邊使用機械性的照射范圍調整機構逐漸擴大圓狀的光的面積，從而使涂膜從內側起依次固化的方法(例如，參照專利文獻2)。再有，也已經提出了這樣的技術：在用旋轉涂敷法使涂膜延展開時，依次對達到了規(guī)定膜厚的該涂膜部位照射紫外線，確定膜厚，使涂膜不進一步向外側移動，從而高精度地形成均勻的涂膜(例如，參照專利文獻3)。

另外，眾所周知，在用旋轉涂敷法形成透明的樹脂膜時，將從內周到外周的厚度制作得均勻是很困難的，外周側會比內周側厚(例如，參照專利文獻4、5)。在專利文獻4中，為了解決該問題，實行了在將輻射固化性樹脂涂敷在整個基板上之后，使基板的轉速加速，在加速過程中進行輻射線照射，使輻射固化性樹脂固化等工序。另外，當為了使基板外周端附近的厚度均勻化而在使基板旋轉的狀態(tài)下使輻射固化性樹脂固化時，會在基板外周端部產生飛邊，因此，使輻射線不能照射到基板外周部的輻射固化性樹脂上。另外，在上述專利文獻5中公開有這樣的制造方法：在用旋轉涂敷法形成透明的樹脂膜時，通過用掩模覆蓋膜厚比內周厚的樹脂膜的外周部分而避免輻射線照射到該外周部分，預先使膜厚變厚的樹脂膜的外周部分處于未固化的狀態(tài)，靠重力進行平坦化。另外，膜厚變厚的樹脂膜的外周部分既可能是從信號記錄區(qū)域內到信號記錄區(qū)域外的整個?區(qū)域，也可能形成在與信號記錄區(qū)域外相對應的樹脂膜的外周區(qū)域上。

專利文獻1：日本特開平9-161333號公報

專利文獻2：日本特開2003-91888號公報

專利文獻3：日本特開2004-280927號公報

專利文獻4：專利第3742813號公報

專利文獻5：日本特開2006-351103號公報