[發(fā)明專利]樹脂膜形成方法及樹脂膜形成裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780032160.2
• 申請日: 2007-08-22
• 公開（公告）號: CN101512648A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小澤直人;鈴木隆之
• 申請（專利權(quán)）人: 歐利生電氣株式會社
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種樹脂膜形成裝置，在使基板旋轉(zhuǎn)從而使上述基板上或上述基板間的液狀物質(zhì)延展開的過程中或者在延展開之后，使光的照射從上述基板的中央側(cè)向外周側(cè)移動，從而使上述液狀物質(zhì)固化，其特征在于，該樹脂膜形成裝置包括：

基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使被供給有用于在基板上或基板間形成樹脂膜的液狀物質(zhì)的上述基板旋轉(zhuǎn)；

光照射機(jī)構(gòu)，其在通過旋轉(zhuǎn)使上述液狀物質(zhì)延展開的過程中或者在延展開之后，照射光，從而使上述延展開的液狀物質(zhì)固化，

上述光照射機(jī)構(gòu)包括：

用于產(chǎn)生照射在上述樹脂膜的光照射面上的光的光源；

用于控制上述光的開始照射、停止照射的控制裝置；

具有將來自上述光源的光變成環(huán)狀光的環(huán)狀光照射部的光照射頭，

上述光照射機(jī)構(gòu)照射上述環(huán)狀光，使上述環(huán)狀光的內(nèi)徑和外徑隨著照射時(shí)間的推移而與上述基板的旋轉(zhuǎn)中心呈同心狀地在上述基板上逐漸變大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂膜形成裝置，其特征在于，

上述光照射機(jī)構(gòu)具有使上述光照射頭相對于上述旋轉(zhuǎn)中心向上下方向移動的照射頭升降裝置，

為了使上述環(huán)狀光的照射面的每單位面積的光照射能量相同，上述照射頭升降裝置使上述光照射頭的上升速度隨著其上升時(shí)間的推移而下降。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂膜形成裝置，其特征在于，

為了使上述環(huán)狀光的照射面的每單位面積的光照射能量相同，上述光照射頭具有將上述環(huán)狀光定向?yàn)橄鄬τ谏鲜鲂D(zhuǎn)中心成規(guī)定角度的透鏡構(gòu)件。

4.一種樹脂膜形成裝置，在使基板旋轉(zhuǎn)從而使上述基板上或上述基板間的液狀物質(zhì)延展開的過程中或者在延展開之后，使光的照射從上述基板的中央側(cè)向外周側(cè)移動，從而使上述液狀物質(zhì)固化，其特征在于，該樹脂膜形成裝置包括：

基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使被供給有用于在基板上或基板間形成樹脂膜的液狀物質(zhì)的上述基板旋轉(zhuǎn)；

光照射機(jī)構(gòu)，其在通過旋轉(zhuǎn)使上述液狀物質(zhì)延展開的過程中或者在延展開之后照射光，從而使上述延展開的液狀物質(zhì)固化；

上述光照射機(jī)構(gòu)包括：

由以上述基板的旋轉(zhuǎn)中心為中心配置成環(huán)狀的多個(gè)光照射部件構(gòu)成的、用于照射環(huán)狀光的光照射頭；

用于將電力供給到上述光照射部件的電源；

為了改變上述光照射部件相對于上述旋轉(zhuǎn)中心的角度而進(jìn)行工作的角度調(diào)整裝置，

該角度調(diào)整裝置控制上述光照射部件的角度，使來自上述光照射部件的光相對于上述旋轉(zhuǎn)中心的角度隨著上述環(huán)狀光的照射時(shí)間的推移而變大。

5.一種樹脂膜形成裝置，在使基板旋轉(zhuǎn)從而使上述基板上或上述基板間的液狀物質(zhì)延展開的過程中或者在延展開之后，使光的照射從上述基板的中央側(cè)向外周側(cè)移動，從而使上述液狀物質(zhì)固化，其特征在于，該樹脂膜形成裝置包括：

基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使被供給有用于在基板上或基板間形成樹脂膜的液狀物質(zhì)的上述基板旋轉(zhuǎn)；

光照射機(jī)構(gòu)，其在通過旋轉(zhuǎn)使上述液狀物質(zhì)延展開的過程中或者在延展之后，照射光，從而使上述延展開的液狀物質(zhì)固化，

上述光照射機(jī)構(gòu)包括：

用于產(chǎn)生照射在上述樹脂膜的光照射面上的光的光源；

用于控制上述光的開始照射、停止照射的控制裝置；

用于改變上述光的強(qiáng)度分布的斜率的光強(qiáng)度分布變更機(jī)構(gòu)，

該光強(qiáng)度分布變更機(jī)構(gòu)，一直到比停止上述光的照射的外周側(cè)的第1位置靠內(nèi)側(cè)的第2位置，照射具有平緩的斜率的強(qiáng)度分布的光，并且使上述光從上述基板的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)向外周側(cè)移動，

控制上述光的強(qiáng)度分布的斜率而使該斜率在上述第2位置變大，

在上述第1位置照射具有大斜率的強(qiáng)度分布的光，從而使上述第1位置的上述光的照射區(qū)域和非照射區(qū)域的邊界清晰。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的樹脂膜形成裝置，其特征在于，

上述光強(qiáng)度分布變更機(jī)構(gòu)具有透鏡機(jī)構(gòu)，該透鏡機(jī)構(gòu)通過沿與上述樹脂膜垂直的方向移動來改變來自上述光源的光的強(qiáng)度分布的斜率，

在該透鏡機(jī)構(gòu)向離開上述光照射面的方向移動時(shí)，上述光在上述光照射面上從旋轉(zhuǎn)中心側(cè)向外周側(cè)移動，

上述光強(qiáng)度分布變更機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，在上述第2位置使上述透鏡機(jī)構(gòu)收縮上述光的焦點(diǎn)，從而使上述光的強(qiáng)度分布的斜率在上述第2位置變大。