[發明專利]模具的制造方法

無效

• 申請號: 200780028598.3
• 申請日: 2007-06-11
• 公開（公告）號: CN101495292A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 川口泰秀;淺川昭彥;野中史子
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B29C59/04
• 分類號: B29C59/04;B29C33/38;B29C43/46
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 劉多益

技術領域

本發明涉及模具(mold)的制造方法。

背景技術

作為形成微細圖案的方法，已知有所謂的納米壓印法，該方法是將具有所要的微細圖案的倒置圖案的模具按壓在由液狀的光固化性樹脂形成的膜上，并在這一狀態下對光固化性樹脂照射光線使光固化性樹脂固化而形成所要的微細圖案的方法(參照專利文獻1～3)。

最近，提出了采用將表面形成有圖案的包含含氟聚合物等的薄膜卷繞于滾筒(cylinder)的圓筒狀模具連續地形成微細圖案的方法(專利文獻4、5)。

但是，所述圓筒狀模具中，在卷繞的薄膜的起始端和終止端之間生成了接縫。因此，(i)在接縫部分及其前后無法形成圖案，導致接縫部分及其前后無法被用于微細圖案的形成而存在微細圖案的形成效率下降的問題，以及(ii)產生形成微細圖案的同時還因接縫而形成凹凸的問題。

專利文獻1：日本專利特表2005-515617號公報

專利文獻2：日本專利特開2005-288803號公報

專利文獻3：國際公開第2003/084727號文本

專利文獻4：日本專利特開2006-037057號公報

專利文獻5：美國專利申請公開第2006/0021533號說明書

發明的揭示

本發明提供可制造在包含含氟聚合物的圖案層上無接縫的圓筒狀或圓柱狀的模具的方法。

本發明具有以下技術內容。

(1)模具的制造方法，它是具有基材和圖案層的模具的制造方法，其中所述基材是圓筒狀或圓柱狀基材，所述圖案層包括含氟聚合物并且其表面上形成有圖案，該方法包括以下工序：

形成覆蓋圓筒狀或圓柱狀的基材的外周面側的包含含氟聚合物的膜，獲得模具前體的工序；

將所述模具前體的外周面按壓在已經加熱的原始模具的具有與所述圖案層的圖案相對應的倒置圖案的表面上，并在這一狀態下，使所述模具前體旋轉，將所述原始模具的倒置圖案轉印于包含含氟聚合物的膜而形成圖案層的工序。

(2)上述(1)記載的模具的制造方法，在形成所述包含含氟聚合物的膜之前，具有形成覆蓋所述基材的外周面側的防靜電層的工序。

(3)上述(2)記載的模具的制造方法，在形成所述防靜電層之前，具有形成覆蓋所述基材的外周面側的第1底涂層的工序。

(4)上述(2)或(3)記載的模具的制造方法，具有形成覆蓋所述防靜電層的第2底涂層的工序。

(5)上述(1)～(4)的任一項記載的模具的制造方法，所述含氟聚合物是含氟環狀聚合物或含氟聚醚系聚合物。

(6)上述(5)記載的模具的制造方法，所述含氟聚合物的主鏈具有含氟脂肪族環結構。

(7)上述(1)～(6)的任一項記載的模具的制造方法，所述含氟聚合物是全氟聚合物，其中，與碳原子結合的氟原子的數量相對于與碳原子結合的氫原子以及與碳原子結合的氟原子的合計數量的比例為100％。

(8)上述(1)～(7)的任一項記載的模具的制造方法，涂布將含氟聚合物溶于溶劑而形成的溶液并干燥涂膜來形成包含含氟聚合物的膜。

(9)利用上述(1)～(8)的任一項記載的模具的制造方法制得的模具。

(10)微細圖案的形成方法，將權利要求9所述的模具的圖案層按壓在形成于支承基板上的由液狀的光固化性樹脂制成的膜上，并在這一狀態下，對光固化性樹脂照射光線使光固化性樹脂固化而形成所要的微細圖案。

利用本發明的模具的制造方法可制得在包含含氟聚合物的圖案層上無接縫的圓筒狀或圓柱狀的模具。

附圖的簡單說明

圖1是表示由本發明的制造方法獲得的模具的一例的剖視圖。

圖2是表示圖1的模具的層結構的放大圖。

圖3是表示模具的制造的過程中獲得的模具前體的一例的剖視圖。

圖4是表示本發明的模具的制造方法中的一個工序的剖視圖。

圖5是表示將模具前體按壓于原始模具的狀態的放大圖。

圖6是表示微細圖案的形成方法的一例的剖視圖。

圖7是表示實施例所用的原始模具的主視圖。

符號說明：10為模具，12為基材，14為圖案，16為圖案層，18為防靜電層，20為第1底涂層，22為第2底涂層，30為模具前體，32為包含含氟聚合物的膜，40為原始模具，42為倒置圖案，50為支承基板，52為由光固化性樹脂形成的膜，70為光源。

實施發明的最佳方式

本說明書中，將式(1)表示的化合物記為化合物(1)。其它式表示的化合物同樣記載。