[發(fā)明專利]模具的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780028598.3
• 申請日: 2007-06-11
• 公開（公告）號: CN101495292A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 川口泰秀;淺川昭彥;野中史子
• 申請（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B29C59/04
• 分類號: B29C59/04;B29C33/38;B29C43/46
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 劉多益

1.模具的制造方法，它是具有基材和圖案層的模具的制造方法，其中所述基材是圓筒狀或圓柱狀基材，所述圖案層包括含氟聚合物并且其表面上形成有圖案，其特征在于，包括以下工序：

形成覆蓋圓筒狀或圓柱狀的基材的外周面?zhèn)鹊陌酆衔锏哪ぃ@得模具前體的工序；

將所述模具前體的外周面按壓在已經(jīng)加熱的原始模具的具有與所述圖案層的圖案相對應(yīng)的倒置圖案的表面上，并在這一狀態(tài)下，使所述模具前體旋轉(zhuǎn)，將所述原始模具的倒置圖案轉(zhuǎn)印于包含含氟聚合物的膜而形成圖案層的工序。

2.如權(quán)利要求1所述的模具的制造方法，其特征在于，在形成所述包含含氟聚合物的膜之前，具有形成覆蓋所述基材的外周面?zhèn)鹊姆漓o電層的工序。

3.如權(quán)利要求2所述的模具的制造方法，其特征在于，在形成所述防靜電層之前，具有形成覆蓋所述基材的外周面?zhèn)鹊牡?底涂層的工序。

4.如權(quán)利要求2或3所述的模具的制造方法，其特征在于，具有形成覆蓋所述防靜電層的第2底涂層的工序。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項所述的模具的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物是含氟環(huán)狀聚合物或含氟聚醚系聚合物。

6.如權(quán)利要求5所述的模具的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物的主鏈具有含氟脂肪族環(huán)結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求1～6中任一項所述的模具的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物是全氟聚合物，其中，與碳原子結(jié)合的氟原子的數(shù)量相對于與碳原子結(jié)合的氫原子以及與碳原子結(jié)合的氟原子的合計數(shù)量的比例為100％。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項所述的模具的制造方法，其特征在于，通過涂布將含氟聚合物溶于溶劑而形成的溶液并干燥涂膜來形成包含含氟聚合物的膜。

9.模具，其特征在于，利用權(quán)利要求1～8中任一項所述的模具的制造方法制得。

10.微細(xì)圖案的形成方法，其特征在于，將權(quán)利要求9所述的模具的圖案層按壓在形成于支承基板上的由液狀的光固化性樹脂制成的膜上，并在這一狀態(tài)下，對光固化性樹脂照射光線使光固化性樹脂固化而形成。